Gebraucht SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279865 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U ist ein Photoresist-Gerät mit einem automatisierten Fördermodul, das die manuelle Arbeit reduziert und den Photoresist-Prozess vereinfacht. Es ermöglicht eine automatisierte Photolackverarbeitung für die Anwendung von Halbleiterscheiben. Das System besteht aus mehreren Modulen, darunter einem Fotoresisttank, einer nassen Bank, einem Pre-Bake, einem Spin-Coat, einem Exposure-Modul und einem Post-Bake-Modul. Der Photolackbehälter ist dort, wo die Photolackflüssigkeit dem Gerät hinzugefügt wird. Die Wet Bench ist verantwortlich für die Strom- und Wärmeversorgung der Vorback- und Nachbackmodule sowie für die Befüllung des Photoresisttanks. Mit dem Pre-Bake-Modul wird die Waferoberfläche vor dem Spin-Coat auf eine gewünschte Temperatur erwärmt. Das Spin-Coat-Modul ist für das Aufbringen einer noch dünnen Photolackschicht auf die Waferoberfläche verantwortlich. Das Exposure-Modul dient dazu, die Waferoberfläche der spezifischen ultravioletten Energie auszusetzen und liefert der Waferoberfläche das gewünschte Muster. Und nach der Photolackbelichtung ist das Post Bake Modul für die Erwärmung der Waferoberfläche verantwortlich, um das Muster auf der Waferoberfläche zu fixieren. Die Maschine wurde entwickelt, um einen einfachen, sicheren und automatisierten Prozess für die Anwendung von Photoresist zu bieten. Es ist mit einem Sicherheitsverriegelungswerkzeug ausgestattet, das eine versehentliche Exposition des Bedieners durch ultraviolette Strahlung verhindert. Es kommt auch mit einer benutzerfreundlichen GUI (Graphical User Interface), die die Bedienung der Anlage sehr einfach macht. Das Modell ist auch für eine effiziente Wartung konzipiert, und es kommt mit Reinigungsmaterial-Kits und Werkzeugen. Abschließend ist SST-C-6422-5060-U eine effiziente und zuverlässige Photolackausrüstung, die die manuelle Arbeit reduziert und den Photolackprozess für die Anwendung von Halbleiterscheiben vereinfacht. Es ist mit einem Sicherheitsverriegelungssystem und einer benutzerfreundlichen GUI ausgestattet und ist für eine einfache Wartung ausgelegt.