Gebraucht SEMITOOL SST-C-6422-5060-U #9279869 zu verkaufen

SEMITOOL SST-C-6422-5060-U ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung für die Produktion von Wafern und Substraten mit integrierter Schaltung. Das System kombiniert eine fortschrittliche Hochdurchsatzplattform mit zuverlässigen Langzeitprozessen und einer engen Prozesskontrolle, die eine konsistente und wiederholbare Produktion ermöglicht. SST-C-6422-5060-U Photoresist-Einheit verfügt über eine vollautomatische, integrierte Konfiguration mit erweiterten Prozesssteuerungen zur Überwachung und Anpassung der Einstellungen in Echtzeit. Die Maschine verfügt über ein integriertes 400mm Prozessboot mit 50-Kammer-Kapazität, mit dem maximal 400mm Substrate oder Wafer verarbeitet werden können. Dies macht es ideal für die Serienfertigung von Substraten oder Wafern mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit. Das Tool verwendet ein patentiertes Dual-Zone-Plattformdesign, mit dem zwei unabhängige Prozesse gleichzeitig ausgeführt werden können, was eine maximale Prozesseffizienz und einen maximalen Durchsatz bietet. Dieses Doppelzonendesign umfasst eine Hochtemperaturzone mit einer Spitzentemperatur von bis zu 915 ° C und eine Tieftemperaturzone mit einer Spitzentemperatur von 190 ° C. Die beiden unterschiedlichen Temperaturzonen, kombiniert mit fortgeschrittenen Servotreibern und Temperaturreglern, sorgen für ein genaues und wiederholbares positionsorientiertes Backen des Substrats oder Wafers. Das Photoresist-Asset umfasst auch ein Vakuum-Modell mit zwei Stufen, die sowohl Backe-Respite als auch Lösungsmitteldämpfe steuern; Wahl ablativer oder weichablativer Prozesse; und eine proprietäre maskengebundene Kammerausrüstung, die präzise, wiederholbare Prozesse bereitstellt. SEMITOOL SST-C-6422-5060-U enthält auch ein hochauflösendes bildgebendes Subsystem mit wählbarer Abtastgeschwindigkeit und optischen Filtern für genaue, schnelle Ausrichtungs- und Erkennungsfunktionen. SST-C-6422-5060-U kommt mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware, die Echtzeit-Anpassungen von Parametern wie Kammertemperatur, Druck und Drehgeschwindigkeit ermöglicht. Die integrierte Software bietet Mitarbeitern vor Ort aktuelle Leistungsmessgrößen, um die Prozesseffektivität und -stabilität zu überwachen. Dies ermöglicht reduzierte Ausfallzeiten, verringerten Schrott und verbesserte Prozesswiederholbarkeit. Insgesamt ist SEMITOOL SST-C-6422-5060-U Photoresist System eine hochdurchsatzreiche Produktionsplattform, die konsistente Ergebnisse mit verbesserter Prozesswiederholbarkeit und -kontrolle liefert. Die patentierte Dual-Zone-Plattform des Geräts, die bis zu 400 mm Wafer in Kombination mit der integrierten Vakuummaschine, fortschrittlichen Servotreibern und Prozesskontrollsoftware unterstützt, bietet einen erhöhten Durchsatz für höhere Ausbeute.