Gebraucht SEMITOOL SST #9359467 zu verkaufen

SEMITOOL SST
Hersteller
SEMITOOL
Modell
SST
ID: 9359467
Spray solvent tool.
SEMITOOL SST ist eine von SEMITOOL, Inc. Das System ist ein automatisierter Photoresist Coater, der hohe Präzision, genaue und wiederholbare Resistbeschichtung und Strippen bietet. Es nutzt fortschrittliche Technologie, einschließlich Vakuumabscheidung und fortschrittliche optische Prozesskontrolle, um die bestmöglichen Ergebnisse zu liefern. Die Einheit besteht aus drei Hauptkomponenten: der Kammer, dem Kompressor und der Computermaschine. Die Kammer ist aus Edelstahl gefertigt. Sie besteht aus zwei Kammern, einer für die Vakuumkammer und einer weiteren für den Folienabscheidungsbereich. Ein integriertes hochpräzises Sputterabscheidungsinstrument steuert den Filmabscheidungsprozess und ermöglicht eine präzise Kontrolle der Abscheiderate und Schichtgleichförmigkeit. Der Kompressor pumpt Luft in die verschiedenen Teile der Kammer und erzeugt ein Vakuum. Dieses Vakuum ermöglicht eine homogene atmosphärische Umgebung in der gesamten Kammer, die eine gleichmäßige Folie und Resistabscheidung gewährleistet. Mit einem computergesteuerten Werkzeug werden die Vakuumniveaus überwacht und entsprechend eingestellt. Die Anlage nutzt auch fortschrittliche optische Prozesssteuerung, um genaue, konsistente und wiederholbare Resistbeschichtungs- und Strippergebnisse zu gewährleisten. Dies wird durch Verwendung eines Spektralreflektometers und eines Spektralfotometers zur Messung der optischen Eigenschaften der Resistbeschichtung und des Substrats erreicht. Darüber hinaus ist das Modell auch in der Lage, online zerstörungsfreie Tests (NDT) der Resistschicht durchzuführen, um deren Gleichmäßigkeit, Haftung und Dicke zu bestimmen. Dies wird durch eine optimierte Scaneinrichtung erreicht, die die Resistschicht bei sehr niedriger Energie abtastet. Schließlich bietet das System auch Nachprozessanalysen, um die Beschichtungs- und Strippergebnisse zu bestätigen. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Reihe von automatisierten Prozessen ausgestattet, um Genauigkeit, Effizienz und Wiederholbarkeit der abgeschiedenen Resistschichten zu gewährleisten. Insgesamt macht die Vorentwicklung von SST es zu einer hocheffizienten und zuverlässigen Option für Photoresist Beschichtung und Strippen. Diese Maschine bietet eine Vielzahl von Vorteilen, wie Präzision, Genauigkeit, Konsistenz, Wiederholbarkeit und Benutzerfreundlichkeit.
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