Gebraucht SEMITOOL ST-2400 #293600511 zu verkaufen

ID: 293600511
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL ST-2400 ist eine Photoresist-Tauchausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet einen vakuumbasierten Ansatz zur Übertragung von Photolack von einem Vorratsbehälter auf einen Wafer. ST-2400 System ist in der Lage, das Niveau und die Temperatur des Photolacks zu steuern, um Gleichmäßigkeit und Genauigkeit während der Waferbearbeitung zu gewährleisten. Die Einheit besteht aus einem Abgabeventil und einer Steuerung, die für die Bewegung des Wafers während des Photolackeintauchens verantwortlich sind, zusammen mit einer Düse, einem Heizblock, der eine feste Temperatur hält, und einem Vakuumgenerator, der für die Entfernung von Luftspalten während des Photolackeintauchens verantwortlich ist. SEMITOOL ST-2400 Maschine ist in der Lage, eine Vielzahl von Photolack-Substrat-Konfigurationen und kann mehrere Substrate gleichzeitig verarbeiten. Es kann sowohl für das kontaktlose als auch für das berührungslose Photolackeintauchen verwendet werden, wodurch eine Vielzahl von Prozessrezepten implementiert werden können. Darüber hinaus kann es angepasst werden, um einen Bereich von Photoresist Viskositäten, Temperatur und Tauchhöhen unterzubringen, so dass es eine gleichmäßige Photoresist-Abdeckung über den gesamten Wafer zu erreichen. ST-2400 Werkzeug ist mit geschlossener Prozesssteuerung zur Überwachung des Photolackniveaus, der Temperatur, der Eintauchhöhe und anderer Prozessparameter ausgestattet. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine integrierte Fehlerwiederherstellungsfunktion, die Modellfehler identifizieren und beseitigen kann. Darüber hinaus verfügt es über eine erweiterte Vakuumfähigkeit, die alle eingeschlossenen Luftblasen in der Photolackschicht entfernt und die Gesamtprozessleistung verbessert. Das Gerät ist mit einer Reihe von Flüssigkeiten, wie Photoresists, Lösungen, Mischungen und Emulsionen kompatibel und ermöglicht eine breite Verträglichkeit mit bestehenden Beschichtungsprozessen. Darüber hinaus ist es in der Lage, dank seiner präzisen Substratsteuerung und fortschrittlichen Dosiertechnologien eine außergewöhnliche Filmleistung zu erzielen. Zusammenfassend ist SEMITOOL ST-2400 ein zuverlässiges und robustes Photoresist-Tauchsystem, das eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen bietet, wie präzise Prozesssteuerung, Fehlerrückgewinnung, präzise Substratsteuerung und Kompatibilität mit einer Reihe von Flüssigkeiten. Diese Eigenschaften, die mit seiner zuverlässigen Natur verbunden sind, machen ST 2400 eine ideale Einheit für das Halbleitergerät Produktionsanwendungen.
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