Gebraucht SEMITOOL ST 240D #131147 zu verkaufen

ID: 131147
Rinser dryer.
SEMITOOL ST 240D ist eine umfassende Photolackausrüstung, die den photolithographischen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es ist mit einer Reihe von erweiterten Funktionen ausgestattet, die es ermöglichen, Präzisionsmuster-Fähigkeiten und genaue Kontrolle über Ätzzeiten bereitzustellen. Die physikalischen Eigenschaften des Systems umfassen eine 16,7 "x 16,7 "/42,6 cm x 42,6 cm Kammer mit einer Tiefe von 10 "/25,4 cm. Es verfügt über eine Orientierungsstation und kann sowohl mit flüssigen als auch trockenen Photoresists verwendet werden, was die größte Flexibilität für verschiedene Prozessanforderungen bietet. Es verfügt auch über einen direkten Heizmechanismus für die Resist-Lösung, die schnelle Abwärtsprofile und eine präzise Einstellung der Resisttemperaturen ermöglicht. Weitere Merkmale des Geräts sind eine steuerbare Gaseinspritzmaschine zur optimierten Volumen- und Temperaturregelung sowie ein Feuchtigkeitsregelwerkzeug zur Verbesserung der Wiederholbarkeit und des Durchsatzes. Das Asset nutzt auch fortschrittliche Bildgebungstechnologien wie Full-HD-Optik, fortschrittliche Lichtzuordnung und automatisierte Bühnensteuerung für präzise Ausrichtungen und Overlay. ST 240D verfügt außerdem über eine Reihe leistungsstarker Verarbeitungsfunktionen, darunter eine Reihe von Belichtungsverfahren wie optische, Laser-, Laserscanning- und digitale Bildgebung sowie erweiterte Resiststeuerungsfunktionen, die eine präzise Kontrolle der Resistdicke und -härte ermöglichen. Darüber hinaus bietet das Modell eine Vielzahl von zeitsparenden Funktionen wie eine integrierte, automatisierte Reinigungsstation, einen optimierten einstufigen Prozesszyklus und die vollständige Integration mit einer gemeinsamen Automatisierung, einschließlich SMIF-, ARM- und SMCS-Systemen. Zusammenfassend ist SEMITOOL ST 240D eine leistungsstarke und vielseitige Photoresist-Ausrüstung, die auf Präzisions-Micron-Scale-Musterung, hohen Durchsatz und präzises Ätzen und Widerstandskontrolle ausgelegt ist. Mit einer Reihe fortschrittlicher Bildgebungstechnologien, flexibler Gassteuerung und automatisierter Reinigungsstation ist ST 240D eine ideale Wahl für industrielle Photolithographie-Anforderungen.
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