Gebraucht SEMITOOL ST 260 #9170594 zu verkaufen

ID: 9170594
Spin rinse dryer (SRD).
SEMITOOL ST 260 ist eine Photolackanlage zur Herstellung hochkomplexer mikroelektronischer Bauelemente in der Halbleiterindustrie. Dieses vielseitige System besteht aus einer rotierenden Waferstufe, einer ultravioletten (UV) Hochwasserquelle und einem Laserprojektor, mit dem eine Waferoberfläche mit UV-Licht belichtet wird. Die Bühne wird durch automatisierte Software gesteuert und verwendet fortschrittliche Techniken wie Step-and-Repeat, um komplexe Muster zu erzeugen. SEMITOOL ST-260 verwendet einen spezialisierten Laserdiodenprojektor, der ein hochkonsistentes Strahlprofil erzeugt, das ideal ist, um kleinste Details auf der Oberfläche eines Wafers zu erzeugen. Dieser Projektor kann programmiert werden, um eine Reihe von Formen, Größen und Mustern anzuzeigen, und kann so eingestellt werden, dass eine Vielzahl von Fotolacken mit unterschiedlicher Komplexität erstellt wird. Darüber hinaus hat die Einheit die Fähigkeit, den Wafer mit einer dünnen Schicht aus Photolack zu beschichten, einem speziellen Material, das gegenüber UV-Licht sehr empfindlich ist. Nach dem Aufbringen des Photolacks kann dann mit dem Laserprojektor die Oberfläche des Wafers in benutzerdefinierten Formen und Größen dem UV-Licht ausgesetzt werden. Das UV-Licht wird durch eine fein abgestimmte, langwellige UV-Flutquelle erzeugt, die die Energie liefert, die notwendig ist, um die belichteten Bereiche des Photolacks zu „verbrennen“. Dieses Verfahren ermöglicht es dem Anwender, auf der Oberfläche des Wafers komplizierte Muster und Formen zu erzeugen, die dann durch den Photoresist-Ätzprozess auf das darunter liegende Material übertragen werden. Dieser Prozess ist aufgrund der Software, die die Drehung und Positionierung der Waferstufe steuert, hochpräzise und präzise und gewährleistet, dass die Belichtung konsistent und zuverlässig ist. Die Maschine ST 260 ist ein zuverlässiges und genaues Werkzeug, das komplexe mikroelektronische Geräte herstellen kann. Es ist einfach zu bedienen und integriert sich gut in Prozessmaschinen, so dass ein nahtloser Workflow möglich ist. Durch die Verwendung des hochpräzisen Laserdiodenprojektors und der UV-Hochwasserquelle ist dieses Werkzeug in der Lage, komplizierte Muster mit großer Genauigkeit zu erzeugen. Darüber hinaus reduziert die automatisierte Software die Komplexität des Photolackätzprozesses erheblich und sorgt für konsistente und zuverlässige Ergebnisse.
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