Gebraucht SEMITOOL ST 2600 #9216873 zu verkaufen

SEMITOOL ST 2600 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die sowohl für die eigenständige als auch für die integrierte Verarbeitung für die 300mm-Produktion entwickelt wurde. Dieses System ist mit modularen Teilen für eine einfache Reparatur und Wartung gebaut, um Ausfallzeiten zu reduzieren. Es ist mit einer Reihe von Automatisierungs- und Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die es zu einer idealen Lösung für Chip Scale Packages (CSP), SiP und 3D-Verpackungen machen. ST 2600 verfügt über einen manuellen Strahlscanner mit nanoskaliger Auflösung mit einer Wiederholbarkeit von weniger als 1 µm für Präzisionsausrichtung und Spurbelichtung. Es hat auch die Möglichkeit, eine automatische Ausrichteinheit für erweiterte Lithographie und Tests zu installieren. Seine Einzelpass-Belichtung eliminiert Schatten durch Mehrfachpass mit Schablonenmaskierungstechnik. Dies reduziert die Mustergrenze und die Fehlerausbeute durch optische Aberration der vorherigen Maskierungstechnik erheblich. Die 350nm 365nm UV-Lampen von SEMITOOL ST 2600 Maschine bieten eine einstellbare Energieabgabe und eine kontrastreiche Auflösung mit effizienter Belichtung aller Muster mit einer breiten Palette von Formen und Größen. Das Werkzeug verfügt über eine hohe Haltbarkeit und lange Lebensdauer. Der Photoresist Stripper reduziert die Ätzzeit und erhöht den Anlagendurchsatz. Die Standarddüsenkonfiguration ermöglicht eine gleichmäßige Resistbeschichtung mit der rotierenden Duschkopfapplikation. ST 2600 Asset integriert mit Nanotech Software integriert Prozesssteuerung, Datenerfassung und Produktüberwachung. Es kann mit optischen und näherungsmesstechnischen Produkten für in-situ Resist-Foliendickenmessungen verbunden werden. Darüber hinaus umfasst das automatisierte Modell alle vorgegebenen Programme mit intelligenter Prozesssteuerung für wiederholbare Präzision. Der Temperaturregler bietet eine präzise Kontrolle über die Temperatur der Resisteinheit. Der einzigartige, integrierte Luftimpulsreinigungsmodus reduziert die Programmzykluszeit, eliminiert den Wasser- und Lösungsmittelverbrauch. SEMITOOL ST 2600 kann bis zu 69 „Durchmesser Wafer mit einem Maximum von 8“ pro Wafer mit dem einheitlichen Belichtungsmerkmal mustern. Es bietet auch Umweltsicherheitsmerkmale durch den Einbau eines Filters auf Abluft für die Reinigung und Rückführung von Luft mit CO2-Überwachungseinrichtungen. Abschließend ist ST 2600 ein robustes und zuverlässiges Photolacksystem. Es ist pflegeleicht und hat eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit mit einem hohen Maß an Sicherheit. Dieses Gerät wurde entwickelt, um höchste Präzision und Produktivität auf wirtschaftlich effiziente Weise zu bieten.