Gebraucht SEMITOOL ST 260D #105445 zu verkaufen

SEMITOOL ST 260D photoresist ist ein Werkzeug zum Ätzen und Reinigen von integrierten Schaltungen auf verschiedenen Substraten wie Silizium und Quarz. SEMITOOL ST-260D ist ein Hochleistungs-Spin Coater mit einem modularen Design für den einfachen Zugriff auf alle Komponenten des Systems, einschließlich Spin Head, Vakuum, Abra-Sion und Reinigungsabschnitte. Die Einheit verfügt über einen Edelstahl-Drehkopf, der große Substrate bis zu einem Durchmesser von 12,7 "aufnehmen kann. Dadurch kann das Substrat gleichmäßig und kontinuierlich mit variabler Geschwindigkeit gesponnen werden. Um eine gleichmäßige und gleichmäßige Foliendicke zu gewährleisten, ist der Drehkopf mit einem motorisierten Regler mit variabler Geschwindigkeit ausgestattet. Die Drehzahl kann auf 1.800 U/min eingestellt werden. Um Photolack auf das Substrat aufzubringen, bietet ST 260 D eine integrierte Vakuummaschine. Dieses Werkzeug enthält eine einzigartige Einrollkassette zum einfachen Be- und Entladen des Substrats. Nach der Beladung wird das Substrat einem Vakuum ausgesetzt, das hilft, den Fotolack auf die Oberfläche zu ziehen. Die Vakuumanlage verfügt zudem über eine eingebaute Kapazitätssteuerung. Dadurch wird sichergestellt, dass die Substratoberfläche vor der Applikation korrekt aufgeladen wird, was zur Reduzierung von Problemen mit Resisthaftung beiträgt. Zum Ätzen und Reinigen verfügt ST-260D über nasse und trockene Verarbeitungsmöglichkeiten. Es ist mit einem abrasiven Partikelsilo mit aggressiven Reinigungseinstellungen und vier Eintauchbehältern ausgestattet. Dadurch kann das Substrat mit weniger Verfahrensschritten geätzt und gereinigt werden. Das Modell umfasst auch eine automatisierte Wafer-Transferausrüstung und eine Vorkulturkammer, die dazu beitragen, Ressourcenkosten und Umlaufzeiten zu reduzieren. ST 260D Photoresist-System wurde entwickelt, um maximale Prozessflexibilität zu bieten und gleichzeitig die Verarbeitungskosten zu senken. Sein modularer Aufbau macht es einfach, das Gerät zu warten und zu aktualisieren, und seine automatisierten Prozesse helfen, Handarbeit und Fehler zu reduzieren. Mit seinem umfangreichen Leistungsspektrum ist SEMITOOL ST 260 D eine ideale Lösung für verschiedene IC-Fertigungsprozesse.