Gebraucht SEMITOOL ST 260D #131148 zu verkaufen
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SEMITOOL ST 260D ist eine Photolackverarbeitungsanlage zur Entwicklung und Reinigung von integrierten Schaltungen (ICs). Es ist sowohl für nasse Prozesse als auch für Plasmaprozesse konzipiert, um ein überlegenes photoresistisches Lebenszyklusmanagement zu erreichen. Das System bietet eine optionale Laserausrichtung zur präzisen Platzierung von Resistmaskenbildern auf einem IC sowie eine Doppelkassettenbelastung für eine schnelle Substratverarbeitung. Das Gerät verwendet einen mehrstufigen Rotor für Prozessgenauigkeit und Gleichmäßigkeit, mit einem modularen Ansatz, der Massen- und Einzelwafer-Fähigkeiten ermöglicht. Eine einstellbare Widerstandsmaschine verbessert die Prozessausbeute und -steuerung weiter. Das Tool verfügt auch über eine integrierte Overhead-Struktur mit funktionsspezifischen Komponenten wie grafische Benutzeroberfläche (GUI), Touchscreen-Schnittstelle und sensorbasierte Steuerung. Der hochdichte, integrierte Prozessor umfasst Laserausrichtung und Doppelkassettenbelastung, optimiertes Resist-Lifecycle-Management, automatisierte Rezeptentwicklung, naßchemische und elektrochemisch-mechanische Polierverfahren, Laserschneiden und Laserglühen. Eine einstellbare mehrschichtige Photoresist-Architektur optimiert auch die Abdeckung von Wafern und die Prozessgenauigkeit, während ein temperaturgesteuerter Spin/Spray-Prozess die chemische Exposition gegenüber der Betriebsumgebung eliminiert. Eine modulare Vakuumanlage mit Lade-/Entladeanschlüssen sorgt für eine schnelle, kostengünstige Resistententsorgung und chemische Managementanschlüsse verbessern die Prozesskontrolle und enthalten chemische Exposition. Das Modell bietet zudem eine mehrstufige Zugangskontrolle mit zentraler Steuerung von funktionsübergreifenden Benutzern und Anbietern, die eine schnellere und effizientere Kommunikation innerhalb der Geräte ermöglicht. SEMITOOL ST-260D ist für hohe Zuverlässigkeit, Kosteneffizienz und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt. Es vereinfacht den Prozess der Photolackverarbeitung, so dass Hersteller die Produktqualität konstant halten, die Ausschussraten reduzieren und die Systemerträge maximieren können. Darüber hinaus ist das Gerät sehr zuverlässig und sorgfältig gefertigt, um maximale Leistung und Effizienz für die IC-Industrie zu bieten.
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