Gebraucht SEMITOOL ST 260D #9248753 zu verkaufen
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ID: 9248753
Wafergröße: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4"
Single stack
Standalone
TC20 Resistivity meter included.
SEMITOOL ST 260D ist eine voll funktionsfähige Photolackausrüstung, die für die spezifischen Anforderungen von Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, bis zu acht Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, mit einem effizienten und zuverlässigen Durchsatz, der den Zeitaufwand für die Behandlung mehrerer Wafer minimiert. SEMITOOL ST-260D umfasst einen Standardsatz von Kernkomponenten, wie ein Vakuumfutter zur Positionierung von Wafern, und einen einstellbaren Quellmechanismus zum Aufbringen des Fotolackfilms auf die Wafer. Die Kammer hat eine spezielle Platte für die Emission von Stickstoffgas, um verbleibende Photoresist-Dämpfe abzuführen. Mit einer eingebauten Temperaturregeleinheit wird die Temperatur in der Kammer konstant gehalten. Die Maschine verfügt außerdem über eine eingebaute LED-Lichtquelle, die die Wafer beleuchtet und eine gleichmäßige Abdeckung des Fotolackfilms ermöglicht. Eine intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine einfache Steuerung und Modifikation der Belichtungsparameter, wie die Belichtungszeit für jeden Wafer. Das Werkzeug kann schnell und einfach kalibriert werden, so dass genaue Ergebnisse gewährleistet sind. ST 260 D hat auch die Fähigkeit, die Wafer nach der Photoresist-Behandlung automatisch zu reinigen und zu spülen. Der Spülvorgang nutzt einen druckstärkeren Fördermechanismus, um Restphotoresist gründlich aus den Wafern zu entfernen. Die Anlage ist auch in der Lage, die Wafer im Haus zu trocknen, mit einem integrierten Luftgebläse-Modell, das manuell entsprechend der Benutzerpräferenz eingestellt werden kann. Darüber hinaus ist die Ausrüstung mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Das System schaltet sich während einer Notsituation automatisch ab, und das Gerät ist so konzipiert, dass es den Benutzer vor möglichen Kontaminationsgefahren schützt. Durch die Verwendung dieser fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen kann die Maschine sicher eingesetzt werden und gleichzeitig die bestmöglichen Ergebnisse für die Photolackverarbeitung sichergestellt werden. Insgesamt ist ST-260D ein zuverlässiges und effizientes Photolackwerkzeug, das speziell für Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Seine fortschrittlichen Funktionen und Sicherheitsvorschriften machen es zu einer erstklassigen Wahl für viele Unternehmen, und seine benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine schnelle und einfache Anpassung und Kontrolle.
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