Gebraucht SEMITOOL ST 270 #174250 zu verkaufen

ID: 174250
Spin Rinse Dryer, (SRD) With 6" rotors.
SEMITOOL ST 270 ist eine Präzisionsfotoresistausrüstung, die für fortschrittliche lithographische Prozesse entwickelt wurde. Es wird bei der Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungschips verwendet und bietet die enge Kontrolle, die erforderlich ist, um lithographische Merkmale mit Nanometergenauigkeit zu schaffen. SEMITOOL ST-270 System enthält eine Präzisionsstufe, die Photolack mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit anwendet. Der Stepper weist zwei Stufen auf, einen Substrattisch und einen Wafer-Positionierer. Die beiden Stufen bewegen sich in X- und Y-Achse, was eine hohe Präzision bei der Abscheidung des Photolacks ermöglicht. Es enthält auch eine Gaskonsole, die die Einleitung verschiedener atmosphärischer Gase während des Photoresist-Applikationsprozesses ermöglicht. Auf der Wafer-Positionierer-Bühne ist eine hochauflösende Kamera montiert, die eine genaue Ausrichtung der Photolackschicht auf das darunterliegende Substrat ermöglicht. Die Auflösung der Kamera wird in Mikrometer gemessen, so dass die Arbeiter alle Fehlstellungen sofort erkennen und diagnostizieren können. Die Maschine enthält auch ein Photolackventil, das die Abscheidung von Photolack auf dem Wafer ermöglicht. Dieses Ventil ist hochgenau ausgelegt und kann Photolack mit Geschwindigkeiten von bis zu 5 Nanometern pro Sekunde abscheiden. Das Tool ST 270 ist erweiterbar und ermöglicht es Benutzern, die Anzahl der Faktoren zu erhöhen, die während des Photoresist-Prozesses berücksichtigt werden müssen. Wenn der Benutzer beispielsweise die Anzahl der Variablen erhöhen möchte, die im Ausrichtungsprozess der Fotolackschicht berücksichtigt werden, könnte dem Asset eine zusätzliche Kamera oder zwei hinzugefügt werden. Insgesamt ist ST-270 ein robustes und zuverlässiges Photolackmodell, das auch bei komplexesten lithographischen Prozessen zuverlässige Ergebnisse liefert. Seine hohe Genauigkeit und Auflösung, gepaart mit seiner Fähigkeit, leicht erweitert und modifiziert werden, macht es eine ideale Wahl für High-End-integrierte Schaltungs-Chip-Herstellung.
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