Gebraucht SEMITOOL ST 270D #9166872 zu verkaufen

SEMITOOL ST 270D ist eine automatisierte Photolackausrüstung für die Halbleiterherstellung. Es ist ein fortschrittliches Gerät, das dem Bediener die Möglichkeit bietet, Wafer mit Photolack und anderen Ätzmaterialien schnell und genau zu mustern. Dieses System verfügt über ein vollautomatisches, in sich geschlossenes Design, um eine effiziente und reproduzierbare Photolackverarbeitung aller verschiedenen Arten von Substraten zu ermöglichen. Das Gerät besteht aus vier modular angeordneten Modulen - den Reinigungs-, Entwickler-, Spül- und Aushärtungsmodulen. Es ist mit einer patentierten, selbstjustierenden, modularen elektromechanischen Plattform und einem Taucharm ausgestattet, wodurch die Maschine verschiedene Wafergrößen und -stile handhaben kann. Darüber hinaus verfügt ST 270D über ein vollautomatisches Dosier- und Fotoresistions-Applikationswerkzeug, das bis zu 250 Wafer pro Stunde beschichten kann. Das Gut kann sowohl positive als auch negative Photoresists verarbeiten, so dass es sowohl dicke als auch dünne Schichten der Abscheidung ätzen kann. SEMITOOL ST 270D verfügt auch über eine einstellbare Druckspüldüse, um unerwünschte Verunreinigungen zu entfernen, sowie über ein einheitliches Resistsprühmodell, das eine konstante Schichtdichte beibehält. Das Gerät verfügt über bis zu fünf unabhängige Computer-Controller, die mit benutzerdefinierten Rezepten programmiert werden können, einschließlich Ausgaberate, Aushärtungsparameter und Prozess-Schritt-Timing. Es ist in der Lage, die Temperatur, Feuchtigkeit und Sauerstoffgehalte im Werkzeug zu kontrollieren, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Das System verfügt über eine automatisierte Streckenzuführung und ist mit einer breiten Palette von Substratstandorten und Magazinen kompatibel. Darüber hinaus umfasst ST- 270D eine Bildverarbeitungseinheit, mit der Bediener Prozessgenauigkeit überprüfen und Probleme debuggen können. Insgesamt ist SEMITOOL ST 270D ein fortschrittliches Gerät, das für die Photolackproduktion in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Sein vollautomatisiertes, in sich geschlossenes Design sorgt für eine effiziente und reproduzierbare Fotolackverarbeitung mit einstellbarer Druckspülung, gleichmäßigem Resist-Spray, Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle und bildgebenden Maschinenfunktionen.