Gebraucht SEMITOOL ST 270D #9211687 zu verkaufen
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SEMITOOL ST 270D ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die zur Herstellung von strukturgenauen mikroelektronischen Komponenten verwendet wird. Dieses System ermöglicht es Herstellern, komplizierte und komplexe dreidimensionale Geometrien in sehr kleinen Fußabdrücken zu produzieren. Es nutzt digitale Lithographie und Dunkelfeldbildgebung, um sicherzustellen, dass der Resist in den exakten Geometrien gemustert wird. Die Photolithographie von ST 270D kann für eine Vielzahl von Photolackprozessen verwendet werden, einschließlich Photolithographie, photoelektronischer Bildübertragung (PEIT), Elektrotauchlackierung und anderen Mikromachinierungsanwendungen. Photolithographie verwendet Licht, um ein Maskendesign auf ein lichtempfindliches Material zu übertragen. Dies wird verwendet, um die gewünschte Struktur oder Geometrie zu erzeugen. PEIT verbessert die Bildgebung und Genauigkeit der Geometrie weiter, indem es eine schnellere und genauere Strukturierung ermöglicht. Galvanische Abscheidung führt zu glatten, defektfreien Oberflächen mit einer Reihe von mechanischen und elektrischen Eigenschaften für den Einsatz in fortgeschrittenen Anwendungen. SEMITOOL ST 270D nutzt die Elektronstrahllithographie (EML), um dreidimensionale Mikrostrukturen herzustellen. Diese Einheit kann dreidimensionale Nanostrukturen bis 25nm Strukturen sehr präzise produzieren und Volumen atlarge. Die erzeugbaren Strukturen beschränken sich nicht nur auf Widerstandsmuster. Auch andere Materialien wie Metalle, Dielektrika und Verbundwerkstoffe können im EML-Verfahren eingesetzt werden. ST 270D nutzt auch die Dunkelfeldbildgebung, um sicherzustellen, dass die von der Maschine erzeugten Strukturen oder Muster genau und präzise sind. Dunkelfeldbildgebung maximiert den Kontrast zwischen Resistmasken und Substratmaterialien und ermöglicht eine höhere Genauigkeit beim Mustern der Masken. Es stellt auch sicher, dass Hintergrundunordnung auf einem Minimum gehalten wird, da es die Notwendigkeit entfällt, den gesamten Substratbereich gleichzeitig zu betrachten, was die Genauigkeit des Werkzeugs erhöht. Das Asset enthält eine Vielzahl integrierter Funktionen, um den Photolithographie-Prozess zu vereinfachen. Es verfügt über eine einfach zu bedienende Benutzeroberfläche sowie eine vollautomatische Fokuseinstellung und ein integriertes Kalibriermodell. Darüber hinaus bietet es integrierte Diagnose- und Prozesssteuerungsfunktionen, erweiterte Berichts- und Analysefunktionen. Abschließend ist SEMITOOL ST 270D eine leistungsstarke Photolackausrüstung, mit der komplizierte und präzise dreidimensionale Geometrien für die unterschiedlichsten mikroelektronischen Komponenten hergestellt werden können. Es verwendet EML, Dunkelfeldbildgebung und andere Funktionen, um sicherzustellen, dass die produzierten Geometrien genau und präzise sind. Das System ist auch benutzerfreundlich und bietet eine Vielzahl von integrierten Funktionen, um den Photolithographie-Prozess zu vereinfachen.
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