Gebraucht SEMITOOL ST 270D #9383156 zu verkaufen

SEMITOOL ST 270D
ID: 9383156
Wafergröße: 5"
Spin rinser / dryer, 5".
SEMITOOL ST 270D Photolackausrüstung ist ein Stück automatisierte nasse Bank Ausrüstung zum Auftragen von dünnen Schichten aus Photolackmaterial auf verschiedenen Substraten verwendet. Das System wurde entwickelt, um eine präzise und genaue Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten einschließlich Silizium, Quarz, Glas und Keramik zu ermöglichen. ST 270D verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, wie einen programmierbaren, in sich geschlossenen Sprayer, einen automatischen Werkzeugwechsler, eine ultrapräzise Stufe, eine einfach zu bedienende Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) und eine atmosphärische Drucksteuereinheit. Die Maschine ist mit einem in sich geschlossenen Sprüharm ausgestattet, mit dem das Photolackmaterial unabhängig von der Ausrichtung des Substrats mit großer Genauigkeit versprüht wird. Das wird möglich durch die hohe Geschwindigkeit gemacht, hohe Frequenzlaufwerkmotoren haben gepflegt, den Sprayarm zu bewegen. Das Drucksprühgerät ist so ausgelegt, dass es das Material gleichmäßig über die gesamte Oberfläche des Substrats verteilt. SEMITOOL ST 270D ist mit einem atmosphärischen Druckregelwerkzeug ausgestattet, mit dem der Druck der Chemikalien in der Kammer reguliert wird. Dies ist wesentlich für das Präzisionssprühen des Photolackmaterials, was eine höhere Genauigkeit beim Aufbringen des Photolackmaterials ohne schnelle Änderungen des Druckniveaus ermöglicht. Darüber hinaus verfügt ST 270D über eine ultrapräzise Stufe zur Bearbeitung mehrerer Substrate. Dies wird durch die Verwendung von Luftlagern und Linearwellen erreicht, was bedeutet, dass die Bühne sehr präzise Bewegungen ermöglicht, was für eine genaue Bearbeitung des Photolackmaterials wesentlich ist. SEMITOOL ST 270D ist auch mit einem einfach zu bedienenden Human-Machine Interface (HMI) ausgestattet, das zur Steuerung des Assets verwendet wird. Dadurch kann der Bediener die Funktionen des Modells schnell und einfach steuern sowie verschiedene Prozesszyklen und Programme einrichten. Schließlich ist der Auto-Werkzeugwechsler in der Lage, eine Vielzahl verschiedener Werkzeuge mit hoher Genauigkeit auszutauschen. Dadurch können Prozesswerkzeuge wie Spinner, Düsen und Polierköpfe schnell ausgeschaltet werden, so dass das Substrat besonders schnell bearbeitet werden kann. ST 270D ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung, die für die genaue und präzise Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde und mit vielen Funktionen zur Verbesserung der Verarbeitungsrate und -qualität ausgestattet ist.
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