Gebraucht SEMITOOL ST 280 #9160074 zu verkaufen

SEMITOOL ST 280 ist eine Photolackausrüstung, die für die Verwendung in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist sowohl für Wafer-Plasmaätz- als auch für nasschemische Prozesskammern konzipiert. Das System bietet mehrstufige Zyklusfunktionen mit präziser Temperaturregelung, hoher Gleichmäßigkeit und optimaler Prozesssteuerung. Dieses Modell eignet sich besonders für die Bearbeitung von 75-200 µm Substraten im Mainstream-CMOS und für die MEMS-Technologie. ST 280 wird von einem mächtigen programmierbaren Logikkontrolleur (PLC) gesteuert und mit einer hohen Temperatur, Mehrpunktreihe des Widerstandstemperaturentdeckers (RTD) für das schnelle Aufrichten und Abkühlen von Prozessräumen ausgestattet. Durch effiziente, leistungsstarke Dosierdampfabgabe- und Inertgassteuerungssysteme sind die präzise bearbeiteten Komponenten des Geräts ein zuverlässiger und wesentlicher Bestandteil des Produktionsprozesses. Die Maschine verfügt über ein Vier-Punkt-Substrat-Halter-Sensor-Array mit integrierter Kamera zur präzisen und wiederholbaren Substrat-Ausrichtung in der Kammer. Das hochmodulare Scrubber- und Clean-Up-Tool verfügt über eine ideale Snubber-Schnittstelle und erhöht die Zuverlässigkeit des Asset weiter. Für eine optimale Substratverarbeitung verwendet SEMITOOL ST 280 ein branchenübliches Kammerdesign. Die x-, y- und Temperaturzonen erzeugen eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, und die seitliche Gleichmäßigkeit des Wafers ist typischerweise besser als 0,25 ° C. Der Schwenkring sorgt für eine zusätzliche 0,25 ° C Gleichmäßigkeitsänderung in z-Richtung. Die Gasmischfähigkeiten des Modells ermöglichen es, benutzerdefinierte Gasdruck- und Strömungsprofile zu erstellen. Dies ermöglicht zusammen mit den verschiedensten Substratmaterialien den Einsatz der Geräte für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheideprozessen. ST 280 unterstützt die Wafertemperaturregelung von Raumtemperatur bis 400 ° C bei 6 ° C Stabilität. Die hohe thermische Gleichmäßigkeit ermöglicht es Herstellern, Prozessfenster zu reduzieren und Prozesswiederholbarkeit und unübertroffene Produktivität, niedrigere Prozesstemperaturen und höhere Erträge zu erzielen. Das System unterstützt eine Vielzahl von Photolackdicken auf Produktionsebene. Darüber hinaus verwendet das Gerät einen 4-stufigen motorisierten Spannfutterlift nach Industriestandard, wodurch weitere Spannmodifikationen entfallen, sowie eine universelle Spannplatte, ein brillantes Merkmal, das die Notwendigkeit prozessspezifischer Vorrichtungen überflüssig macht. Zusammenfassend ist SEMITOOL ST 280 eine zuverlässige und effiziente Maschine, die eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Photolackprozesse sowohl in Plasmaätz- als auch in naßchemischen Prozesskammern bietet. Das Werkzeug kann eine Vielzahl von Prozessen ausführen und eignet sich gut für die Bearbeitung von 75-200 µm Substraten. Es bietet überlegene Kontrolle, Temperaturgleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit, die Kosteneinsparungen und Erträge produzieren.