Gebraucht SEMITOOL ST-480 #9156435 zu verkaufen
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ID: 9156435
Wafergröße: 8"
Spin rinse dryer, 8"
Resistivity controller
P328 controller.
SEMITOOL ST-480 ist eine Photolackverarbeitungsanlage, die sich für eine Vielzahl von industriellen und akademischen Anwendungen eignet. Dieses System bietet eine Reihe integrierter Komponenten für die Entwicklung, Verarbeitung und Charakterisierung von Photolackmaterialien. Die Einheit besteht aus einem automatisierten Robotertransportmechanismus, um eine präzise Bewegung und Positionierung während der Fotolackverarbeitung zu gewährleisten. Sein Präzisionsbewegungsregler sorgt aufgrund der genauen Wiederholbarkeit für wiederholbare Ergebnisse zwischen mehreren Prozessen. Darüber hinaus ist der Roboter so programmiert, dass er die für die gewünschte Leistung erforderliche Temperatur und Geschwindigkeit automatisch einstellt. Die Entwicklungs- und Verarbeitungsfähigkeiten der Maschine umfassen eine Reihe von Resisttypen für die Herstellung von Folien und Schichten bestimmter Dicken. Es verwendet ein Spin-Coating-Verfahren, um den Photolack gleichmäßig und präzise auf das Substrat einzuführen. Inzwischen ist die Prozessstation mit Substratklemmen und einem Autostop ausgestattet, um das Substrat vor Überbearbeitung zu schützen. Die Charakterisierungsstation umfasst eine Vielzahl von Bildgebungs- und Analysekomponenten zur Beurteilung der Qualität und Genauigkeit der Prozessergebnisse. Es verfügt über ein Oberflächenprofilometer zur Messung von Mikrorauheit und Gleichmäßigkeit auf der Photolackschicht sowie ein Spektralphotometer zur Messung optischer Eigenschaften von Materialien. Das integrierte optische Mikroskopbauteil ist ideal für die Visualisierung der Prozessergebnisse. Mit diesem umfassenden Fotoresist-Tool können Anwender ihre Photoresist-Prozesse für das Erstellen und Analysieren von Schichten sowie für mögliche Anwendungen in der Materialforschung und Prototyping anpassen. Der modulare Aufbau und die integrierten Komponenten von ST-480 bieten Anwendern die Möglichkeit, hochpräzise Photolackprozesse mit zuverlässiger Wiederholbarkeit durchzuführen.
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