Gebraucht SEMITOOL ST 840 #9000640 zu verkaufen
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SEMITOOL ST 840 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für automatisierte Wet-Etch-Wafer-Fertigungsanwendungen entwickelt wurde. Es besteht aus einem Nassätzsystem, Lichtquellen und Chemikalien zur Verwendung in Beschichtungs-, Entwicklungs-, Ätz- und Reinigungswafern vor weiteren industriellen Halbleiterprozessen. Die Photolackeinheit ermöglicht eine präzise Steuerung der verschiedenen Stufen des Herstellungsprozesses, wie Abscheidung, Ätzen, Lichtbelichtung und Nachätzreinigung. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wafer mit hoher Genauigkeit und Gleichmäßigkeit hergestellt werden. Die Fotolackmaschine besteht aus einem einzigen Gehäuse, das ein eingeschlossenes Nassätzwerkzeug, eine Lichtquelle und ein chemisches Bad umschließt. Das Nassätzgut bis zu acht Wafer gleichzeitig und verfügt über einen Druckregler, einen Schüttgutbehälter für Ätzmittel und eine Spinnkammer zur Bearbeitung der Wafer. Die Lichtquelle ist unabhängig für Intensität und Wellenlänge einstellbar und dient zur Belichtung der Wafer, um die gewünschten Photolackschichten zu entfernen. Das chemische Bad bietet eine kontrollierte Umgebung zur Entwicklung, Ätzung und Nachätzreinigung der Wafer. Das Photoresist-Modell wurde entwickelt, damit der Benutzer seine Verarbeitungsparameter an seine spezifischen Anforderungen anpassen kann. Die Lichtquellen können auf variable Intensitäten und Wellenlängen eingestellt werden, während das Ätzmittel, die Konzentration und die Temperatur angepasst werden können, um die gewünschten Ätzprofile zu erzeugen. Zusätzlich können die Reinigungsprozesse auf Sprüh-, Scheuer- oder Spülvorgänge angepasst und die Waferoberfläche mit einer automatisierten optischen Ausrüstung überwacht werden. ST 840 ist eine robuste und zuverlässige Maschine, die entwickelt wurde, um genaue und konsistente Wafer-Fertigungsergebnisse zu liefern. Es wurde mit einer breiten Palette von Funktionen entworfen, um sicherzustellen, dass eine Vielzahl von Verarbeitungsanforderungen erfüllt werden können. Das Photolacksystem ist ideal für eine Vielzahl von Anwendungen wie die Herstellung von Halbleitern, medizinischen Geräten und Mikroelektronik.
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