Gebraucht SEMITOOL ST 860 #293622249 zu verkaufen

SEMITOOL ST 860 ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die für schnelle, wiederholbare und zuverlässige Prozessergebnisse mit minimaler Produktionsunterbrechung entwickelt wurde. Dieses System eignet sich besonders für High-End-Anwendungen wie LCD- und MEMS-Produktion sowie Forschungs- und Entwicklungsprojekte. Die Basisarchitektur von ST 860 umfasst eine zweistufige automatische Spur, zwei Waferkassetten, zwei Versandkassetten, zwei Hochleistungsprozesskammern und zwei Hochtemperatur-Flachbackmodule. Die beiden Spuren werden von einem einzigen in die Einheit eingebetteten Mikroprozessor-Controller unterstützt. Dadurch kann der Bediener die Maschine schnell und einfach von jedem gängigen Webbrowser aus programmieren. Darüber hinaus sorgt ein optionales eigenständiges thermisches Steuerwerkzeug für präzise, wiederholbare thermische Prozessergebnisse. Die integrierte Bewegungs- und Antriebsanlage wurde entwickelt, um eine beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Photoresist-Anwendungen zu bieten. Dieses Modell besteht aus Linearmotoren, Kugelgewindetrieben und Linearcodierern für einfache Positionsausrichtung und fortschrittliche Schrittmotortechnologie für eine reibungslose Drehzahlregelung. Dies gewährleistet nicht nur wiederholbare Prozessergebnisse, sondern reduziert auch die Zykluszeit von Anfang bis Ende. Die beiden Hochleistungs-Prozesskammern in dieser Anlage sind darauf ausgelegt, konsistente und zuverlässige Prozessergebnisse zu gewährleisten. Beide Kammern sind in der Lage, drei verschiedene Größen des Substrats aufzunehmen und sind hochtemperaturunempfindlich, was konsistentere Verarbeitungsergebnisse über einen größeren Bereich von Betriebstemperaturen liefert. Die beiden Hochtemperatur-Flachbackmodule verwenden eine fortschrittliche Temperaturregeltechnologie, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Oberfläche der zu bearbeitenden Substrate zu gewährleisten. Darüber hinaus beinhaltet SEMITOOL ST 860 optionale Sensorrückkopplungs- und Überwachungssysteme, die eine kontinuierliche Überwachung sowohl der Prozessparameter als auch des Status des Systems ermöglichen. Dies gewährleistet eine schnelle und einfache Anpassung der Prozessparameter und beseitigt praktisch jedes Risiko von Bedienungsfehlern. Dieses Gerät ist auch voll kompatibel mit der automatisierten SEMITOOL SPTSO Prozesssoftware und bietet umfangreiche Backend Reporting Funktionalitäten. ST 860 ist für den Einsatz in Reinraumumgebungen konzipiert und wird nach strengen ISO 9001- und SEMI C002-Standards hergestellt. Mit seinem fortschrittlichen Design, seiner robusten Konstruktion und der intuitiven Bedienung erfüllt SEMITOOL ST 860 die Anforderungen der anspruchsvollsten Photoresist-Anwendungen.