Gebraucht SEMITOOL ST-870 #9160073 zu verkaufen

SEMITOOL ST-870
ID: 9160073
Spin rinse dryer, 6" Double stack configuration on a roll around cart.
SEMITOOL ST-870 Photoresist Equipment ist eine fortschrittliche, hochpräzise Waferbearbeitungsanlage zum Ätzen oder Strukturieren von integrierten Schaltungen auf Wafern. Es wird in fortgeschrittenen IC-Herstellungsprozessen verwendet und ist für die Leistung integrierter Schaltungen entscheidend. SEMITOOL ST 870 ist ein Batch-Prozess-Nasschemie-System, das unter Berücksichtigung von Flexibilität und Zuverlässigkeit entwickelt wurde. Seine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit macht es zu einem idealen Werkzeug für die fortschrittliche Waferbearbeitung. Es führt Fotoresist und Ätzschritte auf einem oder mehreren Wafern gleichzeitig, Verarbeitung mit Präzision und Wiederholbarkeit. ST-870 verfügt über zwei 5-stufige Prozessstationen, die einen maximalen Prozessdurchsatz ermöglichen. Das doppelte Gantry-Design erleichtert die unabhängige Bewegung der beiden Arme, so dass sie die Waferbearbeitung unabhängig und die Koordinierung zwischen den Stationen durchführen können. ST 870 verwendet vertikal montierte Chemiepumpen und eine Dosiereinheit, um die bei der Verarbeitung verwendeten Chemikalien präzise anzuwenden und zu überwachen. Die eingebaute Chemiemanagementmaschine sorgt für die ordnungsgemäße Dosierung von Chemikalien, unabhängig von Prozessparametern. Das Werkzeug hat auch einstellbare Widerstandsbahnhöhen, um eine kompliziertere Fotolackverarbeitung zu ermöglichen. SEMITOOL ST-870 ist mit einer computergesteuerten Wärmebildanlage ausgestattet, die eine genaue Temperaturüberwachung und Rückkopplungssteuerung während der Waferbearbeitung ermöglicht. Dieses Modell garantiert die gewünschte Wiederholbarkeit und Präzision in der Waferbearbeitung. Zusätzlich ist in SEMITOOL ST 870 eine chemische Messeinrichtung eingebaut, die eine ständige Überwachung und Optimierung der bei der Waferbearbeitung verwendeten Chemikalien ermöglicht. Das System ist in einem Schutzgehäuse eingeschlossen, um Gase oder Partikel in der Luft zu enthalten, die während der Waferbearbeitung freigesetzt werden können. ST-870 soll die Kontamination der Umwelt minimieren und strenge Regulierungsrichtlinien einhalten. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer akustischen Warneinheit ausgestattet, die den Benutzer auf mögliche Fehler oder Betriebsbedingungen aufmerksam macht. Insgesamt ist ST 870 Photoresist Machine ein fortschrittliches Waferbearbeitungswerkzeug, das ausgezeichnete Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Seine flexible Architektur und seine innovativen Funktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Waferbearbeitung. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale und robusten Materialien machen es zu einem sicheren und zuverlässigen Kapital für die fortschrittliche Waferbearbeitung.
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