Gebraucht SEMITOOL ST-870 #9188736 zu verkaufen

SEMITOOL ST-870 ist eine innovative Photoresist-Ausrüstung, die überlegene Leistung für hochvolumige Photoresist-Anwendungen bietet. Dieses präzise, halbautomatische System nutzt eine direkte Antriebsspindel und überlegene Ausrichtungsmöglichkeiten, um Wafer für präzise wiederholbare Prozessergebnisse präzise zu manipulieren. SEMITOOL ST 870 bietet eine breite Palette von Funktionen wie eine automatische Drehzahlregelung, fortschrittliche Kanten - Greifplatten, stapelbare Prozesskassetten, Verteilung von Viertaschen und Zweispurchemie und mehr, wodurch die Drehgeschwindigkeit, die Flüssigkeitszufuhr und die Handhabung von Substraten besser kontrolliert werden können. ST-870 ist mit einer Reinigungseinheit für Wafer-Kanten ausgestattet, die unglaublich saubere Substrate liefert und bessere Photoresist-Ergebnisse ermöglicht. Um eine bessere Substratausrichtung zu erreichen, setzt ST 870 Laserausrichtungstechnologie und einen berührungslosen Kantensensor an Bord ein, der Waferkanten genau identifiziert. Die Maschine verfügt auch über eine Micro-Rinser-Station, wo Flüssigkeitsentwickler abgegeben und dann für eine verbesserte Photolackabdeckung entfernt wird. Das Photoresist Tool bietet eine Vielzahl von Prozesskassetten, Wafer-Edge-Handling-Technologien und Tools zur Optimierung der Photoresist-Abdeckung und zur Verringerung der Prozessvariabilität. SEMITOOL ST-870 verfügt auch über eine gesprühte Spülstation, die von 0 bis 300 mm über dem rotierenden Substrat für eine vollständige Spülabdeckung ohne Spülkassetteneinstellungen einstellbar ist. Darüber hinaus ist die Anlage mit einem automatisierten Belichtungssteuerungsmodell und einer Multilaser-Targeting-Ausrüstung ausgestattet, um eine konsistente Annäherung des Belichtungswerkzeugs an jedes Ziel sicherzustellen. SEMITOOL ST 870 ist auch mit einem Bündel von Sicherheitsfunktionen wie einem Haubengehäuse, Verriegelungstüren, umgekehrter Druckregelung und Bodenniveaus ausgestattet, um zusätzliche Sicherheit zu bieten, sowie ein ausfallsicheres System mit visuellen Alarmen und einer elektronischen Architektur, um vorbeugende Wartungswarnungen zu verwalten. ST-870 Photoresist Unit ist ein vielseitiges Werkzeug, das auf die spezifischen Anforderungen der Serienumgebung abgestimmt ist. Mit ihrem leistungsstarken Leistungsspektrum verarbeitet diese Maschine effizient und zuverlässig Photolack für extrem zuverlässige Ergebnisse.