Gebraucht SEMITOOL STI 260D #123183 zu verkaufen

SEMITOOL STI 260D ist eine chemische Ätzanlage, die für den Einsatz in der Photoresistverarbeitung und in Niederserienanwendungen entwickelt wurde. Das System ist vor allem für den Einsatz in Ätz- und chemischen Prozessen wie RIE (reactive ion etching) und CMP (chemical-mechanical planarization) konzipiert und kann mit Substraten verschiedener Größen und Typen umgehen. Es ist in der Lage, Substrate bis 300 mm Durchmesser mit einer maximalen Ätzrate von bis zu 1 mm/min zu verarbeiten und kann verschiedene Photolackzusammensetzungen handhaben. STI 260D beinhaltet eine mechanisch robuste Vollaluminium-Vakuumkammer mit eingebautem, temperaturgesteuertem Kühlmittelhahn. Die Einheit verfügt über eine schnellverriegelnde, mehrseitige Elektrodenanordnung, die einen schnellen und einfachen Elektrodenaustausch ermöglicht, ohne dass die Kammer geöffnet werden muss. Eine dreiachsige lineare Antriebselektrodenmaschine ermöglicht eine präzise Steuerung der Elektrode, minimiert die Materialerosion und sorgt für eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit beim Ätzen. Die Kammer ist auch durch eine optionale Faraday-Platte versiegelt, die die Ladungsansammlung minimiert, die Musterverzerrung reduziert und die Ätzgleichmäßigkeit verbessert. Die Funktionen von SEMITOOL STI 260D werden durch ein erweitertes Prozesssteuerungstool mit einer Reihe von Funktionen, einschließlich einer intuitiven Benutzeroberfläche, einer Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern und einem Multi-Programm-Speicher-Asset, verbessert, sodass der Bediener spezifische Prozessprofile speichern und abrufen kann, um den Durchsatz und die Effizienz zu maximieren. Das Modell bietet eine einfache Prozess-Rezept-Programmierung mit visueller Verarbeitung Validierung, so dass der Benutzer den Fortschritt und die Qualität des geätzten Materials in Echtzeit überwachen kann. STI 260D ist eine effiziente und zuverlässige Ausrüstung für die Photolackverarbeitung mit einem kostengünstigen Design, das sowohl den Anforderungen der Niederserienproduktion als auch der Forschung und Entwicklung gerecht wird. Das System ist mit einer umfassenden Sicherheitseinheit ausgestattet, die Anwender, Betreiber und die Prozessumgebung schützt und effiziente und konsistente Ergebnisse mit einer schnellen Wendezeit liefert.