Gebraucht SEMITOOL STI 260D #9206432 zu verkaufen

SEMITOOL STI 260D ist eine Photoresistausrüstung, die für den Einsatz in Photolithographieverfahren entwickelt wurde. Es handelt sich um einen Zweikammer-Vertikal-Nassätzprozessor mit einer Kapazität von bis zu 200mm2. Das System ist mit einer Submerged Micro Vacuum Agitation Unit (SMVAS) ausgestattet, um eine gleichmäßige Auflösung des Photolacks während des Ätzvorgangs zu gewährleisten. Die SMVAS-Wellen durchlaufen die Ätzkammer mit einer Frequenz von 4 Hz und einer Wellenhöhe von 25mm, was zu einer sehr gleichmäßigen Auflösung der lichtempfindlichen Schicht führt. Die Submerged Micro Vacuum Agitation Machine des Prozessors ermöglicht den Einsatz einer Vielzahl von Ätzprozessen, wie Chlor-basiertes Ätzen, Ammoniak-basiertes Ätzen, Nass-Ätzphosphorsäure und Ozonätzen. Darüber hinaus soll das SMVAS die Rückseitenätzung reduzieren, die in vielen Ätzprozessen üblicherweise erlebt wird. Dies macht es ideal für den Einsatz in hochauflösenden Anwendungen. Der Prozessor ist mit einem 5-stufigen Controller ausgestattet und in einem standardmäßigen 19-Zoll-Gehäuse mit 10U Rack untergebracht. Der 5-stufige Controller ist eine fortschrittliche computergesteuerte Prozesssteuerung, die eine benutzerfreundliche, genaue und zuverlässige Prozesssteuerung bietet, die für die moderne Photolithographie-Produktion von heute erforderlich ist. Die Steuerung jedes Schrittes erfolgt unabhängig voneinander über eine intuitive Softwareschnittstelle. Dies ermöglicht die hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit, die für die fortschrittlichsten Photolithographie-Anwendungen von heute erforderlich ist. Der Substrathalter des Prozessors kann maximal 200mm2 halten, so dass es ideal für Produktionslose größer als die normalerweise im Labor gesehen. Zusätzlich kann die Temperatur des Ätzmittels manuell oder durch den Regler eingestellt werden, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug verfügt auch über Sicherheitsfunktionen, die automatisch Gas, Lösungsmittel und Ätzchemikalien abschalten, bevor sie zu einer Gefahr werden. STI 260D ist eine ausgezeichnete Wahl für jedes photolithographische Verfahren. Sein fünfstufiger Controller und der SMVAS ermöglichen eine genaue, zuverlässige und wiederholbare Prozesssteuerung, während seine Sicherheitsmerkmale einen sicheren und effizienten Arbeitsplatz gewährleisten. Die Anlage eignet sich ideal für Produktionschargen von 200mm2 oder weniger und ist in einem Standard-19-Zoll- 10U-Gehäuse untergebracht.