Gebraucht SEMITOOL STI 860 #9395485 zu verkaufen

ID: 9395485
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL STI 860 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die die Waferbearbeitung für die fortschrittliche Mikroelektronik erleichtert. Die automatisierte Lösungschemie des Systems mit Optionen für Eintauch-, Sprüh- und Zykluszeitbenutzer, um eine konsistente und zuverlässige Resistverdünnung für die bestmöglichen Lithographieergebnisse zu liefern. Das Gerät verfügt über eine versiegelte Umgebung, um die Exposition gegenüber Partikeln in der Luft zu reduzieren, sowie über eine direkte zonale Heizmaschine und einen Bodenheizungsförderer, um eine gleichmäßige Erwärmung und konsistente Benetzung zu gewährleisten. Ein kundenspezifisches Düsendesign liefert präzise, konsistente Verteilung auf Waferoberflächen ohne Überspray, während ein dünner, niedriger Geschwindigkeitsvorhang von Lösungsmittel um die Wafer effizient Photolack mit präziser Temperaturregelung entfernt. Eine Touchscreen-Oberfläche bietet Benutzern einen grafischen Überblick über die Arbeitsabläufe des Tools, sodass Benutzer problemlos auf Einstellungen zugreifen und Prozessschritte verfolgen können. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen intuitiven Setup-Assistenten, der schrittweise Anweisungen für Benutzer bereitstellt, die mit dem Modell nicht vertraut sind. Die patentierten Prozesstechniken von STI 860 ermöglichen es Benutzern, Zyklusparameter an die Leistung jedes einzelnen Fotolacks anzupassen. Das Gerät verfügt außerdem über einen optionalen Seitenwandschutz, der einen überlegenen Photoresist-Schutz während der Nachbelichtungsstufen Backen und Tauchen bietet, was zu einem höheren Ausbeute an Wafer führt. SEMITOOL STI 860 bietet einen hohen Durchsatz von bis zu 60 Wafern pro Stunde und ermöglicht es Benutzern, Zykluszeiten zu reduzieren, ohne auf Qualität oder Zykluswiederholbarkeit zu verzichten. Darüber hinaus eliminiert das automatisierte System die manuelle Reinigung, reduziert das Risiko von Kontaminationen und sorgt jedes Mal für einheitliche Ergebnisse.
Es liegen noch keine Bewertungen vor