Gebraucht SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870 #9265365 zu verkaufen

SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870
ID: 9265365
Wafergröße: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL/VIELSEITIGE TECHNOLOGIEN ST-870 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die für die Serienproduktion von mehrstufigen, MEMS, MCM und anderen fortschrittlichen Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Das System verfügt über eine hocheffiziente Laminar-Flow-Prozessspezifikation für die Flüssigkeits- und Dampfphasenverarbeitung. Dies ermöglicht eine präzise Filmabdeckung und Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL ST-870 über eine Mehrzonen-HF-Bias-Platte. Diese Platte ermöglicht eine schnelle thermische Verarbeitung, die zuverlässige und wiederholbare Prozesse ermöglicht und gleichzeitig hohen Verarbeitungsanforderungen gerecht wird. Das Gerät ist mit einer integrierten Datenverwaltungsmaschine ausgestattet, die eine schnelle und einfache Datenüberwachung und -berichterstattung ermöglicht. VIELSEITIGE TECHNOLOGIEN ST-870 verfügt über eine Vielzahl von Prozesskammern, einschließlich Vorreinigungskammern, Resiststreifenkammern, Lösungsmittel-Abisolierkammern und Spin-Coater-Kammern. Auf diese Weise kann das Werkzeug eine Vielzahl von Photolackanwendungen bedienen. Die Anlage verfügt zudem über eine in-situ Messtechnik-Kammer, die Schichtdickenmessungen, Schichtprofilmessungen und allgemeine Inspektion zur Fehleranalyse ermöglicht. Das Modell nutzt global gesteuerte Computernetzwerke zur Prozesssteuerung und Datenanalyse. Dies ermöglicht anspruchsvolle Prozesssteuerungs- und Analysefunktionen. Die benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche bietet eine einfache Bedienung und Konfiguration. ST-870 hat ein thermisches Strömungsprofil von bis zu 900 ° C und eignet sich somit für verschiedenste Materialien. Das Gerät ist auch mit einer Reihe von kundenspezifischen Funktionen verfügbar, einschließlich eines Prozessdaten-Tracking-Systems, Mehrzonen-Heizplatten und automatisiertes Management von Wafern und Trägern. Zusammenfassend ist SEMITOOL/VIELSEITIGE TECHNOLOGIEN ST-870 eine fortschrittliche Photolackeinheit, die für die Herstellung von mehrstufigen, MEMS, MCM und anderen fortschrittlichen Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es verfügt über eine hocheffiziente Laminar-Flow-Verarbeitung und eine Vielzahl von Prozesskammern, einschließlich vorreinigender Kammern, Resiststreifenkammern, Spin-Coater-Kammern und einer In-situ-Messtechnik-Kammer. Die Maschine ist mit vernetzten Computersteuerungen zur Prozesssteuerung und Datenanalyse ausgestattet. Darüber hinaus bietet das Tool eine Reihe von benutzerdefinierten Funktionen, einschließlich eines Prozessdaten-Tracking-Assets, Mehrzonen-Heizplatten und automatisiertes Management von Wafern und Trägern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor