Gebraucht SEMITOOL WSST-608-AG #9410291 zu verkaufen
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ID: 9410291
Wafergröße: 6"
Wet strip system, 6"
Chemical liquid supplying unit
Chemical liquid recovering unit
(2) Automatic carbon dioxide systems
Pure water unit
(2) Fire dampers
Accessories.
SEMITOOL WSST-608-AG ist ein Photoresist-Gerät, das aus mehreren Teilen besteht, die zusammenarbeiten, um hochpräzise optische Komponenten zu schaffen, die in Halbleiterprozessen verwendet werden. Das System besteht aus einer Automatisierungsplattform, Software und Prozesssteuerungskomponenten, die eine integrierte Suite von Photolithographielösungen bieten. Im Zentrum der Photolithographie steht der Werkzeugkopf. Dies ist das Hauptwerkzeug, das die Wafer verarbeitet und für die Projektion und Ausrichtung des Bildes verantwortlich ist. WSST-608-AG verfügt über einen MEMS-basierten Projektionswerkzeugkopf, der benutzerdefinierte Bilder mit bis zu 0,2 Mikron Bildauflösung erzeugen kann. Es verfügt auch über erweiterte Ausrichtungsfunktionen, wie einen vollständigen linearen und Neigungsanpassungsbereich, der eine genaue Ausrichtung des Musters gewährleistet. Das Gerät verfügt auch über einen zweistufigen Backprozess, um die Integrität des Photolacks zu gewährleisten. Die Heizöfen sorgen je nach Anwendung für eine schonende und intensivere Erwärmung. Es verwendet auch Roboter-Wafer-Handling, um sicherzustellen, dass Wafer mit Sorgfalt und Genauigkeit behandelt werden. SEMITOOL WSST-608-AG enthält Software, mit der der Benutzer Workflows erstellen und anpassen, Lithographieeinstellungen optimieren und Prozessergebnisse überwachen kann. Die Software enthält eine Vielzahl von Optionen, mit denen Benutzer benutzerdefinierte Rezepte und Einstellungen erstellen können, um die einzigartigen Anforderungen ihrer Anwendung zu erfüllen. Es enthält auch eine Bibliothek mit häufig verwendeten Einstellungen, mit der Benutzer die Prozesseinstellungen schnell und einfach anpassen können. Die Software bietet eine grafische Benutzeroberfläche, die das Anpassen und Überwachen der Einstellungen erleichtert. Schließlich verfügt die Maschine über mehrere Prozesssteuerungskomponenten, einschließlich Controller, Monitor und Sensoren. Die Prozessregler bieten dem Werkzeug eine präzise Steuerung, um sicherzustellen, dass jede Schicht exakt verarbeitet wird. Das Gerät verfügt auch über ein akustisches Signalüberwachungsgerät, das bei der Erkennung von Anomalien oder Modellfehlern hilft. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät in optimalem Zustand läuft. Abschließend ist WSST-608-AG Photolacksystem als Komplettlösung für hochpräzise optische Bauelemente, wie sie in Halbleiterprozessen eingesetzt werden, konzipiert. Es verfügt über eine robuste MEMS-basierte Projektionseinheit, erweiterte Ausrichtungsfunktionen, einen zweistufigen Backofen, eine automatisierte Waferbehandlung und eine dazugehörige Software-Suite. Diese Maschine bietet Anwendern eine integrierte Lösung, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten.
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