Gebraucht SEMITOOL WSST-805A #9270149 zu verkaufen

SEMITOOL WSST-805A Photoresist Equipment ist eine fortschrittliche Wafer Spin-Coat und entwickeln Technologie, die zuverlässige Abscheidung und Verarbeitung von hochwertigen Dünnschicht dielektrische Schichten bietet. Das System verwendet Wafertechnologie, die mit vielen gängigen Substraten wie Aluminium, Kupfer, Keramik, Silizium, Quarz und mehr kompatibel ist. Es ist speziell für die Bearbeitung von Wafern bis 8 "Durchmesser und eine gleichmäßige Abdeckung über die gesamte Oberfläche des Wafers ausgelegt. Das Gerät verfügt über ein pneumatisch betriebenes Spannfutter, das Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "aufnehmen kann und mit einer Drehzahl von maximal 450 U/min arbeitet. Es enthält auch einen Wafermotor mit 0-50 Hertz Drehzahlbereich. Für eine gleichmäßige Waferdeckung verfügt die Maschine über automatisch einstellbare Spinrampenraten, die eingestellt werden können, um eine optimale Schichtdicke für jedes Substrat zu erreichen. Das Werkzeug ist außerdem mit einer Sammeleinrichtung ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit der Folienabscheidung gewährleistet. Das Modell verwendet einen Resisttank für die Lieferung von Photolack und Entwickler. Der Resistbehälter wird auf optimale Temperaturen für maximale Gleichmäßigkeit in der Verarbeitung erhitzt. Die Heizung erfolgt mit einem Thermoelement und wird durch eine temperaturgeregelte Heizung gesteuert. Die Temperaturregelung ist in Abhängigkeit von der Art des Resists für einen unterschiedlichen Bereich von Verarbeitungstemperaturen einstellbar. Ein Timing-Gerät ermöglicht es dem Bediener, das Gerät so einzustellen, dass es die gewünschte Menge an Fotolack in vorprogrammierten Intervallen liefert. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, die Konzentration von Photolack zu überwachen und das Niveau entsprechend einzustellen. Das System wurde entwickelt, um mit jedem Verarbeitungsschritt eine genaue und wiederholbare Dünnschichtgleichförmigkeit zu gewährleisten. Das Gerät enthält auch eine Regelkreis-Rückkopplungsschleife, die Änderungen in den Prozessbedingungen erkennen kann und passt die Maschine an, um eine konsistente Verarbeitung aufrechtzuerhalten. WSST-805A Photolackwerkzeug ist für die moderne Halbleiterherstellung konzipiert und bietet hohe Zuverlässigkeit und Präzision bei dielektrischen Dünnschichtabscheidungen. Es ist kompatibel mit einer Vielzahl von gemeinsamen Substraten und kann für die Verarbeitung von Wafern bis 8 "im Durchmesser verwendet werden. Es ist auch mit einer Heizeinrichtung und einer Zeitsteuereinrichtung ausgestattet, die die gewünschte Photolackkonzentration und Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung gewährleistet. Das Modell ist auch mit einer Regelkreis-Rückkopplungsschleife ausgestattet, die zur Überwachung und Anpassung der Prozessbedingungen entwickelt wurde, um eine konsistente Leistung von Batch zu Batch zu gewährleisten.