Gebraucht SEMITOOL WSST #9097197 zu verkaufen

SEMITOOL WSST ist eine Suite von Photolackverarbeitungssystemen, die für eine breite Palette von Lithographieanforderungen entwickelt wurden. Die Ausrüstung besteht aus drei Hauptkomponenten: der Hauptprozesskammer, der Lastverriegelungskammer und der Badewanne. Die Hauptkammer ist zur Abscheidung, Ätzung und Reinigung von Photolackschichten während der Halbleiterherstellung ausgelegt. Es ist mit einer Turbopumpe für das Hochgeschwindigkeitsvakuumpumpen ausgestattet und kann eine Vielzahl von Prozessen, Temperaturen und Drücken unterstützen. Die Lastverriegelungskammer dient dazu, vorbehandelte Wafer vor dem Eintritt in die Hauptkammer in eine inerte Atmosphäre zu überführen. Diese Kammer dient auch als Puffer zur Aufrechterhaltung optimaler Vakuumverhältnisse innerhalb der Hauptkammer. Das Badewannenmodul ist ein Niederdrucksprühsystem zur Reinigung von Wafern zwischen Bearbeitungsschritten und kann auch zur Gleisreinigung und Zinnbeschichtung in fortgeschrittenen Anwendungen eingesetzt werden. Das Gerät ist ferner mit zwei unabhängigen Rechnersteuerungen zur Überwachung und Steuerung der Prozessparameter ausgestattet. Die Controller sind mit der Hauptkammer, der Lastschloßkammer und der Badewanne verbunden und bieten Zugriff auf eine Vielzahl von Parametereinstellungen, einschließlich Kammertemperaturen, Gasströmungen und Prozesszeiten. Die Controller sind zudem mit Plasmazündsystemen ausgestattet und bieten eine umfassende Datenerfassung, Fehlerprotokollierung und Echtzeitanzeige von Prozessparametern. WSST bietet zuverlässige und kostengünstige Lithographie- und Photolackverarbeitungslösungen für eine Vielzahl von Halbleiterbauelementen und -anwendungen. Es ist mit innovativen Prozessmanagement- und Steuerungssystemen ausgestattet, die wiederholbare, einheitliche Ergebnisse für die Photolackabscheidung, -ätzung und -reinigung sowie anspruchsvolle Verfahren zur Leistungsüberwachung und Fehlerdiagnose liefern. Die Maschine ist auf überlegene Flexibilität ausgelegt und sorgt bei enger Prozesssteuerung für optimale Fotolackleistung.