Gebraucht SEMITOOL WSST #9400944 zu verkaufen

SEMITOOL WSST ist eine Photolackausrüstung, die von SEMITOOL inc. entworfen und hergestellt und im Jahr 2000 veröffentlicht wurde. Es ist ein automatisiertes Submikron-Photolithographiesystem mit einer Auswahl an Photolacken und -merkmalen. Diese Einheit ist mit einem programmierbaren Scanner aufgebaut, der in der Lage ist, bis zu 28 Substrate von 12-Zoll-und 6-Systemen mit der doppelten Geschwindigkeit von SEMITOOL vorherigen Photoresist-Plattform der WFST zu halten. Die Maschine deckt ein Anwendungsspektrum von der Waferreinigung über das Naß-/Trockenätzen bis hin zum Fotolackstreifen ab. Der anisotrope Plasmaätzer bietet eine hohe Schichtselektivität und die fortschrittliche 3D-Suspensionstechnologie kann auch bei konkaven oder nicht planaren Substraten eine gleichmäßige Filmdicke ermöglichen. WSST ist für Backend-of-Line-Prozesse wie Kontaktmaskenreparatur, mehrschichtiges Isolieren und rückseitige direkte Bildgebung optimiert. Es unterstützt zusätzliche Leistung zusätzlich zu dem hohen Standard der Zuverlässigkeit, die SEMITOOL bietet. Seine Komponenten sind vollständig luftführende geschlossene Mechanik, die minimale Vibrationen bietet, um eine ausgewogene thermische Umgebung, effizienten Betrieb und außergewöhnliche Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus umfasst SEMITOOL integrierte Optionen wie Hochstrom-Photoresist-Anwendungen und eine einzigartige High-Definition-Scan-Fähigkeit. Es kann eine Reihe verschiedener Lösungen wie ein zusätzliches Track Out/Track In (T/T) -Werkzeug für die Produktion von einzelnen Substraten und eine optionale Transactional Product Lane (TPL) zur integrierten Kompensation von Bogen, Verzug und globalen Temperaturdrifts aufnehmen. Darüber hinaus ist SEMITOOL WSST für den Einsatz in Reinräumen der Klasse I konzipiert, mit einer maximalen Temperatur von 135 ° C und einer maximalen Photoresistdicke von 3500 Angström. Seine Größe ist mit automatisierten Prozessmaterialien, Computersteuerung und einer sicheren Front-to-Back-Kompaktbauweise integriert, die mit einem standardmäßigen 25 'langen Lastschloss und einer staubfreien Stickstoffumgebung installiert ist, um unberührte Sauberkeit zu gewährleisten. WSST Photoresist Asset bietet die Möglichkeit, seine gesamte Palette von Photoresist-Produkten, Kontaktmasken und MOEMS ohne menschliches Eingreifen zu verarbeiten. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, um spezifische Prozessanforderungen mit weniger Overhead zu erfüllen. Die Eigenschaften und das Anwendungsspektrum machen es zu einer idealen Wahl für jedes Submikronlithographieverfahren.