Gebraucht SEMITOOL WST 172 #142238 zu verkaufen

SEMITOOL WST 172 Photoresist Equipment ist ein automatisiertes Sprühbeschichtungssystem, das sich am besten für die Halbleiter-/MEMS-Waferbearbeitung eignet. Es ist hochkonfigurierbar und unterstützt eine breite Palette von Chemikalien, mit der Fähigkeit, Beschichtungen mit einem Dickenbereich von 0,1-4 μ m mit einer Gleichmäßigkeit von 3-4% zu entwickeln. Das Gerät kann bis zu acht Wafer gleichzeitig handhaben und ist mit einer Plattform ausgestattet, die mit einer Vielzahl von Prozessmodulen verwendet werden kann, darunter Vorreinigung, Sprühbeschichtung, Entwickler und Wäscher. Die Maschine verwendet ein integriertes, direkt nachgiebiges Düsenabgabekrümmerwerkzeug, um eine gleichmäßige Schichtdicke bei hoher Auflösung zu erzeugen. Die Haupteinheit ist mit einem Robot End Effector (REE), einer Sprühdüse, Aktuatoren und Sensor ausgestattet. Die Düse ist verstellbar, um die Steuerung der Tröpfchengröße, des Sprühwinkels und des Sprühdrucks sowie die Positionierung des Sprühmusters zu erleichtern. Der REE ist mechanisch angetrieben und bietet eine einstellbare Broadcast-Konfiguration, um eine optimale Sprühgleichförmigkeit zu erreichen. Das Aerosol wird kontrolliert gleichmäßig verteilt, um genaue, konsistente und wiederholbare Beschichtungsergebnisse zu gewährleisten. WST 172 verfügt über eine integrierte Doppelplattendrehung zur Ausrichtung von zwei oder mehr Wafern zur Beschichtung mit einer Prozesszeit von ca. 15 Minuten pro Wafer. Weitere Merkmale sind eine erweiterte Mustersteuerung zur Erzeugung genauer Muster, eine mehrstufige Einstellung für programmierbare Sprühraten, eine Partikelüberwachungsanlage zur Validierung von Beschichtungen und ein Stickstoffmodul für inerte und kontrollierte Umgebungsschattierungen während des Prozesses. Das Modell verfügt über eine dedizierte Benutzeroberfläche und warnt vor Problemen während des Prozesses. Das Gerät arbeitet mit einem Niedertemperatur-Sprühverfahren, das es für den Einsatz mit verschiedenen Substraten, einschließlich Kunststoffen, Glas und GaAs, geeignet macht. Das Sprühverfahren hilft, gefährliche organische Lösungsmittel zu reduzieren, wodurch das Risiko von Katastrophen reduziert und unnötige Schäden vermieden werden. SEMITOOL WST 172 ist auch in der Lage, sich mit anderen SEMITOOL-Maschinen abzustimmen, was noch schnellere und effizientere Prozesse ermöglicht. Insgesamt bietet das Photoresist-System WST 172 eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit und eignet sich für Anwendungen von der Einzelwafer bis zur Großverarbeitung. Das Gerät sorgt für ein hohes Maß an Gleichmäßigkeit, verbesserter Prozesskontrolle und reduziertem Abfall und ist somit eine ideale Wahl für Halbleiter- und Mikrofabrikationsanwendungen.