Gebraucht SEMITOOL WST-306 #9379931 zu verkaufen

SEMITOOL WST-306 ist eine Photoresist-Stripping-Ausrüstung für Streifen und Reinigung von Photoresist von Substraten. Es arbeitet nach dem Prinzip der Injektion eines Natriumhydroxids und Ultraschallwellen in die Kammer. Das System wird typischerweise zum Strippen und Reinigen von Photolack bei der Halbleiterherstellung verwendet. WST-306 verfügt über eine offene Arbeitskammer mit bis zu 108 ° C erwärmt, die beheizte chemische Bäder und turbulente Kavitation ermöglicht. Das Gerät ist mit drei Kanälen für jeweils eine andere Temperatur und Betriebsart ausgestattet. Die Maschine verfügt auch über ein Manometer entwickelt, um Hohlraum Druckbeaufschlagung und Entspannung mit präziser Steuerung durchzuführen. Das Manometer dient zur Einhaltung eines vorgegebenen Druckniveaus im Resiststreifenprozess. SEMITOOL WST-306 kann verschiedene Größen von Photolacksubstraten bis 200 mm Durchmesser aufnehmen. Es ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Photoresist-Typen, einschließlich AZ-, SU8- und ArF-Photoresist. Das Werkzeug enthält eine präzise rotierende Hubplattform, die eine glatte mechanische Hubbewegung bietet, die Schäden an empfindlichen Substraten beseitigen kann. Die Aufzugsplattform ermöglicht einen einfachen Zugang zur Kammer für Reinigung und Wartung. Das Asset kann entweder manuell oder über einen automatischen Programmablauf bedient werden. Im manuellen Modus können Benutzer aus einer Vielzahl vorkonfigurierter Zyklusparameter wählen. Es verfügt auch über eine programmierbare Zyklusspeicheroption, mit der bis zu 8 benutzerdefinierte Prozessprofile gespeichert und für eine spätere Ausführung abgerufen werden können. WST-306 ist ideal für Anwendungen, die das Strippen und Reinigen von Photolack von Halbleitersubstraten beinhalten. Es ist hocheffizient und zuverlässig und ermöglicht einen konsistenten und wiederholbaren Prozess. Das Gerät erfordert außerdem eine minimale Wartung, was es kostengünstiger macht.