Gebraucht SEMITOOL WST-306MI #137518 zu verkaufen

SEMITOOL WST-306MI ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung für den Einsatz in der Hochvolumenproduktion. Mit einem fortschrittlichen robusten Design ist WST-306MI in der Lage, bis zu 300mm Wafer mit einer Temperaturgenauigkeit und Wiederholbarkeit von 0,1 ° C zu stützen. Dieses System besteht aus einer nassen Bank und einem aseptischen Transportprozessor (ATP) zur Verarbeitung von Photoresists und anderen Flüssigkeiten. SEMITOOL WST-306MI verfügt über einen integrierten Förderer, der ein effizientes Ein- und Austreten von Werkstücken ermöglicht, einschließlich Substratträger und Kantenentfernungsvorrichtungen. Darüber hinaus ist das Gerät mit mehreren Optionen für die Entlüftung entwickelt, um die chemische Lebensdauer zu maximieren, wie kohlenstoffbasierte Filter, photochemische Behandlungssysteme und Inline-Degasser-Filtration. WST-306MI unterstützt Anwendungen wie positiver und negativer Photolack, Strippen, Entwickeln, Templieren und Maskieren sowohl mit nassen Chemikalien als auch mit Entwicklergasen. Es verfügt über eine intelligente Benutzeroberfläche, die es einem Bediener ermöglicht, eine Sequenz mit vordefinierten Programmen oder benutzerdefinierten Rezepten auszuführen. SEMITOOL WST-306MI bietet zudem Standard-Reinraumschnittstellen und kann mit seiner integrierten Überwachungseinheit fernüberwacht werden. WST-306MI bietet ein 5-stufiges Photoresist-Prozessmodul, das Vorbacken, Nachbacken, Nachbelichtungsbacken, Nachbacken und Backen nach dem Entfernen umfasst. Es umfasst auch eine Temperatursensorüberwachung innerhalb des Substrattransportflumes und eine interne Sensorüberwachung des Prozessschranks. Insgesamt ist SEMITOOL WST-306MI eine fortschrittliche Photolackmaschine mit effizientem Workflow, die verschiedene Photoresists, Chemikalien und Entwicklergase zuverlässig verarbeiten kann. Die automatisierte Bearbeitungsreihenfolge, die benutzerfreundliche Oberfläche und die integrierte Überwachung ermöglichen hervorragende Ergebnisse und einen effizienten Betrieb. Das Werkzeug eignet sich für großvolumige Anwendungen in der Halbleiter- und Optoelektronik.