Gebraucht SEMITOOL WST-306MI #81412 zu verkaufen

SEMITOOL WST-306MI Photoresist Equipment ist ein System zur hochpräzisen Strukturierung von Photoresist-Materialien auf Substraten. Dieses Gerät eignet sich hervorragend für Anwendungen in der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie, wo Präzision und Genauigkeit an erster Stelle stehen. WST-306MI ist ein Einkammer-Werkzeug mit einem Projektions-Aligner (PA), der den Wafer- und Maskenaustausch unterstützt und eine exakt ausgerichtete Schattenbildgebung auf bis zu 300mm-Wafern durchführen kann. Die Maschine verfügt zudem über ein integriertes Verschmutzungsüberwachungswerkzeug (CMS), das Partikelüberwachungs- und Reinigungssensoren in der Prozesskammer für erhöhte Sauberkeit und Abwasserentsorgung ermöglicht. Darüber hinaus unterstützt das Asset tiefe UV-, I- und Deep-UV/i-Line-Photoresist-Prozesse. Die Prozesskammer von SEMITOOL WST-306MI ist mit einer uniformierten niederdruckchemikalienfreien (ULPCF) Bulk-Lampe und einem Quarzkeramik-Photoresist-Coater ausgestattet. Die uniformierte niederdruckchemikalienfreie (ULPCF) Schüttgutlampe wurde entwickelt, um eine homogene UV- und Deep-UV-Strukturierung auf dem Substrat sowie eine präzise und genaue Kontrolle der Lage und Intensität des Lichtes zu gewährleisten. Der Quarzkeramik-Photoresist-Coater verwendet eine integrierte Heizung, eine Mikropumpe und einen Lüfter, um eine gleichmäßig verteilte Resistbeschichtung zu gewährleisten, die für präzise Ergebnisse unerlässlich ist. Die integrierten Temperatur- und Strömungssensoren ermöglichen eine genaue Kontrolle der Temperatur und Viskosität des Photolackmaterials. WST-306MI unterstützt auch verschiedene Spezial-Photoresist-Verfahren, einschließlich positiver ultravioletter, negativer ultravioletter, zweischichtiger Photoresist und einschichtiger Photoresist. Es ist auch mit einem speziellen thermischen Steuerpaket vorkonfiguriert, das eine gleichmäßige Resiststrukturierung bei allen Temperaturen gewährleistet. Das Modell ist kompatibel mit den meisten Arten von lichtempfindlichen Materialien und verfügt über eine intuitive Software-Schnittstelle zum einfachen Einrichten, Überwachen und Steuern des Prozesses. SEMITOOL WST-306MI bietet einen zuverlässigen, effizienten und präzisen Photolackmusterprozess, der vor allem in industriellen Anwendungen von Vorteil ist. Die Genauigkeit und Gleichmäßigkeit des Prozesses sind unübertroffen, während die einfache Einrichtung und intuitive Bedienung es für Anwendungen mit hohem Durchsatz geeignet machen. Dieses Gerät ist eine ideale Wahl für die anspruchsvollsten Photoresist-Musteranwendungen.