Gebraucht SEMITOOL WST-308 #9155218 zu verkaufen

SEMITOOL WST-308 ist eine voll funktionsfähige Photolackverarbeitungsanlage, die eine extrem enge Prozesskontrolle, präzise Wiederholbarkeit und Toleranzen für Produktionsanwendungen ermöglicht. Es bietet eine Vielzahl von nassen und trockenen verarbeitbaren Photoresists, die sowohl in der optischen als auch in der Elektronenstrahl-Lithographie verwendet werden können. SEMITOOL WST 308 verfügt über ein vollautomatisches Einwafer-Prozesssystem zur präzisen Photoresist-Beschichtung, Back- und Voredgebead-Edge-Reinigung. Die Photoresist-Beschichtung wird durch eine präzise Rotary Jet Spray- Coater™ gesteuert und verwendet eine proprietäre Drehdüse, um den Fotolack beim Aufsprühen auf den Wafer zu zerstäuben. Die Einheit verfügt über unabhängige Temperatur- und Geschwindigkeitsprofilsteuerung für genaue Beschichtungsdicke, Wiederholbarkeit und Haftung. Die Kanten des Wafers werden mit der integrierten Edge-Bead Removal Machine (EBRS) ™ vorkantig und trocken nachbearbeitet. WST-308 Tool ist mit einem fortschrittlichen Vakuum-Sublimationsbacken-Asset ausgestattet, das präzise Einheitlichkeit und schnelle Umlaufzeiten bietet. Es verfügt über zweistufige Heizung, um die Temperatur zu stabilisieren und den Punkt der Verdunstung Lockout zu erleichtern. Das Backmodell enthält ein Wiederherstellungs-KE, um sicherzustellen, dass präzise Prozessparameter zwischen aufeinanderfolgenden Lasten beibehalten werden. Die Ausrüstung verarbeitet standardmäßige, resistbeschichtete Substrate aus einer Reihe von Lieferanten. Fotolackprofile und Rezepte können zur wiederholten Verwendung gespeichert und zurückgerufen werden. Das System erfüllt strenge Prozesskontrollparameter und bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Das Gerät ist in der Lage, manuelle Techniken für kritische Prozesse wie Strippen und Reinigen zu ersetzen, was zu einer verbesserten Prozessleistung und Ausbeute führen kann. Die Maschine verfügt auch über eine Vielzahl von Optionen und Sicherheitsfunktionen, darunter einen atmosphärischen Druckmonitor, ein isoliertes Ölbad und eine automatisierte Sicherheitsverriegelung. WST 308 wurde entwickelt, um die Anforderungen einer breiten Palette von Photolackanwendungen zu erfüllen und bietet robuste und genaue Leistung. Dieses Tool bietet eine hervorragende Kombination aus Flexibilität, Leistung und Zuverlässigkeit für mittel- bis serienreiche Produktionsprozesse.