Gebraucht SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328 zu verkaufen

ID: 293660328
Weinlese: 1995
System 1995 vintage.
SEMITOOL WST-308A1CCBT ist eine Photoresist-Ausrüstung für fortschrittliche Halbleiterlithographieanwendungen. Dieses System wurde entwickelt, um schnellere, genauere und höhere Ausbeuten an empfindlichen Photolackprozessen zu ermöglichen, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Diese Einheit verfügt über eine Einzel-Wafer-Ladelasche, eine Turbo-Molekularpumpe, einen digitalen Temperaturregler und eine vollständig verriegelte Sicherheitsmaschine. Es verfügt über ein modernes optisches Ausrichtungswerkzeug, um eine präzise, wiederholbare Positionierung von Wafern für Lithographieprozesse zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt SEMITOOL WST-308A-1CC-BT über einen programmierbaren Logikcontroller (SPS), mit dem Benutzer individuelle Rezepte konfigurieren und Bestandsprotokolldaten verwalten können. Um eine stabile und sichere Umgebung zu gewährleisten, erreicht das Modell auch einen maximalen Basisdruck von < 2,5 x 10-6 Torr. Bei der Photolackverarbeitung bietet WST-308A1CCBT Gerät eine um 45 ° geneigte Winkelplattform, die die statischen und dynamischen Kräfte reduziert, um höhere Durchsätze zu erzielen. Das integrierte Wafer-Bootssystem bietet Platz für bis zu 8 Wafer mit einem Einzel-Wafer-Loadlock. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Wafer-Temperaturregelmaschine, die für gleichmäßige Wafertemperaturen von +/- 0,5 ° C sorgt, was für eine konsistente Photoresist-Belichtung entscheidend ist. Das Werkzeug verfügt auch über einstellbare Dipol- und Bipolarkammern für variable Photolackniveau und Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus sorgen schnelle Teilsysteme mit Geschwindigkeiten bis zu 1.800 ° C/min dafür, dass jeder Litho-Zyklus zu überlegenen Ergebnissen führt. WST-308A-1CC-BT ermöglicht auch den Einsatz von weichen und harten Backprozessen, so dass die Ergebnisse von Lithographieexperimenten mit hohem Seitenverhältnis unabhängig vom Substrattyp zuverlässig bleiben. Schließlich ermöglicht der große LCD-Bildschirm auf SEMITOOL WST-308A1CCBT Technikern die einfache Anzeige von Asset-Informationen und die Überwachung von Prozessparametern. Insgesamt ist SEMITOOL WST-308A-1CC-BT ein fortschrittliches Photoresist-Modell, das entwickelt wurde, um schnellere, genauere und höhere Ausbeuten empfindlicher Photoresist-Prozesse zu unterstützen. Der hohe Durchsatz und die streng kontrollierten Lithographieparameter machen ihn zu einer idealen Lösung für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.
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