Gebraucht SEMITOOL WST-406MG #7441 zu verkaufen

SEMITOOL WST-406MG ist eine Hochleistungs-Photolackausrüstung für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Das System wurde entwickelt, um eine ideale Submikron-Linie und Kontaktloch-Strukturierung sowie eine schnelle und gleichmäßige Strukturierung von großflächigen Werkzeugen zu ermöglichen. Das Gerät wird mit einer Prozesskammer, Heizungen, Steuergerät und Software geliefert. Die Prozesskammer ist aus 304 Edelstahl aufgebaut und verfügt über eine einziehbare Quarz-Suszeptor-Kuppel, die thermische Gradienten reduziert. Die Heizung besteht aus zwei Einrohr-Tauchheizungen für schnelle Drehung und maximale Verlustleistung. Die Temperatur wird durch einen unabhängigen elektronischen Regler geregelt, der eine präzise Temperaturregelung und gleichmäßige Erwärmung der gesamten Kammer ermöglicht. Die Maschine nutzt eine hochintensive gepulste kohärente Laserquelle, die eine schnelle Belichtung des Photolacks ermöglicht. Die Laserquelle ist mit einem mechanisch abgetasteten Y/Z-Kardanometer gekoppelt, das präzise Belichtungsmuster liefert. Das Werkzeug verfügt auch über ein einzigartiges hochpräzises Ausrichtungs-Subsystem, das eine hohe Genauigkeit der Belichtung von Photolackmustern gewährleistet. WST-406MG verfügt über eine integrierte vierspurige Ausgabeeinheit und eine temperaturgeregelte automatisierte Spin-Spül-Trockeneinheit. Dies ermöglicht die Waferbearbeitung mit höchster Genauigkeit, Konsistenz und Geschwindigkeit. Darüber hinaus ist die Anlage mit einer Ladestation ausgestattet, die ein schnelles Be- und Entladen ermöglicht, ohne die Kammer der Raumtemperatur auszusetzen. Die Benutzeroberfläche für das Modell ist eine Ethernet-basierte grafische Benutzeroberfläche (GUI). Dies bietet komfortablen Zugriff auf Geräteeinstellungen, Parameter und Prozessrezepte. Die Schnittstelle ermöglicht auch den Fernbetrieb des Systems. Zusammenfassend ist SEMITOOL WST-406MG eine robuste, leistungsstarke Photolackeinheit, die für Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. Die Maschine bietet präzise Musterung, genaue Ausrichtung und Belichtung sowie schnelle und konsistente Waferbearbeitung. Die integrierte GUI macht die Bedienung des Tools benutzerfreundlich und bequem.