Gebraucht SEMIX / TAZMO TR 6133UD #293598589 zu verkaufen
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ID: 293598589
Wafergröße: 4"-6"
Coater systems, 4"-6"
(3) Zone hotplate
Single / double cassette
Fluoroware type with pitch of 3/16" for (25) Wafers
SOG Nozzles: 0.85mm, 1/16" tubing
Nozzle capping mechanism
Nozzle cleaning with solvent
Splash back cup cleaning with solvent
Adjustable suck back valve
Polypropylene tank: 1 gallon
PVC, 11"
Teflon solvent tubing and suck back valve
(3) Vacuum chuck hot plates
Heater capacity: 3.8 Kw (total) at 250°C
Baking time: 0-999.9 secs with increments of 0.1 sec
Normal indicator setting: ±3°C
SOG Filter: .22 µm Fluoropore fitter
Chemical cabinet: 5 Gallon capacity
(2) Nozzles back side rinses (edge bead removal)
Solvent filter: MILLIPORE CWFG00403 Fluorex / WGFG04HP6 Wafergard
Gas line filter: MILLIPORE GTL WGFG01D Wafergard 0.22 µm filter
Wafer transport system:
Indexing elevator
Vacuum chuck
Shuttle mechanism
Walking beam
Control unit:
Microprocessor: INTEL 8065 (main and (2) sub CPUs)
Speed: 100-9000 RPM (4") / 8000 RPM (6") ± .15% (50-1990 RPM) and ±.1% (2000-6000 RPM) Alarm for speed ±3% of RPM (speed higher than 300 RPM)
Acceleration: Maximum rate 1 sec for 0 to 5000 RPM (programmable in increments of 1 sec)
Process: 20-Steps, 8 / 16 recipes
Temperature control: ±1°C Uniformity with alarm setting of ±3°C
Spinning, dispensing time: 0-99 Sec programmable
Baking time: 0-999 Sec programmable
Process display: Back-lit LCD.
SEMIX/TAZMO TR 6133UD ist eine vollautomatische und vielseitige Photoresist-Anlage, die für eine breite Palette von industriellen Anwendungen eingesetzt werden kann. Es ist mit photolithographischen Techniken im Auge entworfen und ist in der Lage, tiefe Ätzungen, Planarisierung und hochauflösende Musterung bis zu Auflösungen von 0,5 Mikrometern zu produzieren. Die Haupteinheit besteht aus einem digitalen Bedienpult und einem Vakuumtisch. Die Steuerkonsole bedient die Mikrometerskala X, Y und Z der Vakuumtabelle zur genauen Ausrichtung und Positionierung von Photolackmustern. Der Vakuumtisch enthält ferner eine programmierbare Belichtungskammer und ein Abgabesystem zum automatisierten Be- und Entladen des Fotolacks. SEMIX TR 6133UD bietet eine Reihe von Funktionen, darunter einen digitalen Bildaufnehmer, eine Ausgabe- und Antriebssteuerung, eine Wafer-Übergabeeinheit und eine Vakuummaschine. Der Bildaufnehmer zeichnet das gewünschte Grünlichtbelichtungsmuster auf, das dann zur Ansteuerung der Bewegungssteuerung der X-, Y- und Z-Achse dient. Die Ausgabe- und Antriebssteuerung dient zur präzisen Steuerung des Photolackflusses und des Betriebs der Mikrometer-Skalenstufen während der Strukturierung. Das Waferabgabewerkzeug hilft bei der Übertragung von photoresistbeschichteten Wafern zwischen der Einheit und der Bearbeitungskammer. Die Vakuumanlage trägt dazu bei, eine gleichmäßige und saubere Oberfläche für eine hochauflösende Strukturierung zu gewährleisten. TAZMO TR 6133UD bietet eine hervorragende Leistung mit einer Wiederholbarkeit von 10 Mikrometern und einer hohen Auflösung von 0,5 Mikrometern. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine breite Palette von Unterstützungsgeräten, die die Entwicklung von photoresistbasierten Geräten und Produkten unterstützen. Dazu gehören automatisierte Ausgabewerkzeuge, Hochgeschwindigkeits-Scanwerkzeuge, Photoresist-Sputtersysteme und eine Reihe von Photoresist-basierten Ablagerungssystemen. TR 6133UD ist eine fortschrittliche Photoresist-Ausrüstung, die hochauflösende Musterfunktionen, hervorragende Wiederholbarkeit und eine breite Palette von Support-Tools bietet. Es wurde entwickelt, um den Anforderungen der industriellen Anwendungen gerecht zu werden, die photolithographische Verfahren erfordern, und kann hochpräzise Ergebnisse in einem Bruchteil der Zeit liefern.
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