Gebraucht SEMIX / TAZMO TR 8152 #9277677 zu verkaufen
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ID: 9277677
Wafergröße: 6"
System, 6"
Process: SOG Deposition
Chemical: SOG, IPA
Coat module
Robot
(6) Hard bakes
Canister IPA
Condizioner
Computer / Display.
SEMIX/TAZMO TR 8152 Photoresist Equipment ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das auf die komplexesten Ätz- und Lithographiebedürfnisse bei der Herstellung von Siliziumscheiben zugeschnitten ist. Mit einem automatisierten, hochpräzisen Verfahren bietet das System eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, um die Schaffung modernster Halbleiterbauelemente für die Elektronikindustrie zu gewährleisten. Die Einheit umfasst eine optische Komponente in Kombination mit einer automatisierten Prozesssteuerung. Zu den optischen Stufen gehören eine LED-Lichtquelle, eine optische Faserbündelbeleuchtung, eine Vollbild-CCD-Kamera und eine lithographische Maskenhandhabungsmaschine. Die automatisierte Prozesssteuerung hilft bei der Optimierung der Ätz- und Lithographieprozesse durch Überwachung, Anpassung und Steuerung von Werkzeugparametern während des Betriebs. Zum Asset gehört auch ein leistungsstarkes benutzerfreundliches Schnittstellenprogramm, mit dem Benutzer Rezepte speichern und den Ätzprozess für alle Arten von Materialstrukturen optimieren können. Auf diese Weise lässt sich das Modell nach Kundenwunsch einfach einrichten und bedienen. SEMIX TR 8152 Photoresist Equipment verfügt zudem über ein integriertes Bildverarbeitungssystem, das Varianzen identifizieren und kompensieren kann und hochpräzise Ergebnisse liefert. Zusätzlich ist ein Hochgeschwindigkeits-Spin-Coater enthalten, der Fotolack sowohl in vertikaler als auch in horizontaler Richtung spinnen kann, wodurch eine genaue Abscheidung von Photolack auf dem Substrat ermöglicht und die Gleichmäßigkeit und Dicke des Photolacks gesteuert wird. Das Gerät bietet auch eine Niedertemperatur-Plasmaätzmaschine, die Wafer gleichmäßig mit Konsistenz und zuverlässigen Ergebnissen ätzt. TAZMO TR8152 Photoresist Tool bietet eine breite Palette fortschrittlicher Prozesskontrollfunktionen, um höchste Ergebnisqualität und einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Die Anlage wurde für einen störungsfreien Betrieb konzipiert und validiert und verfügt über mehrere Umweltschutzmaßnahmen zum Schutz vor Kontamination und anderen gefährlichen Bedingungen. SEMIX/TAZMO TR8152 Photoresist Model ist eine ideale Lösung für Unternehmen, die höchste Qualität und Präzision in ihren Produktionsprozessen suchen. Es bietet nicht nur eine zuverlässige Quelle für hochpräzise Photolithographie- und Ätzprozesse, sondern dank seiner fortschrittlichen Funktionen ist es perfekt für Kunden, die sehr spezifische und komplexe Inhaltsstoffe für ihre Anwendungen benötigen. Die erzeugten Ergebnisse sind von höchster Qualität und lassen sich leicht auf spezifische Kundenwünsche optimieren.
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