Gebraucht SEMIX / TOK CSH 8121D #158244 zu verkaufen
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SEMIX/TOK CSH 8121D ist ein spezielles Photolackgerät, das für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es besteht aus einer langen und kurzen Impulsbelichtungseinheit, einem Maskenausrichter und einem Substratprozessor. Das System wird in einer Vielzahl von Anwendungen wie Verdrahtung, Leiterbahnen und anderen fortschrittlichen Halbleiterprozessen eingesetzt. Die Langpulsbelichtungseinheit von TOK CSH 8121D ist in der Lage, die Oberflächen eines Substrats genau auf einen Sub-Mikron-Pegel zu strukturieren. Es verwendet Laserbelichtungstechnologie, um das Photolackmaterial auf dem Wafer mit einer maximalen Auflösung von 10 Mikrometern genau zu belichten. Die Pulsbreite des Lasers kann je nach belichtetem Material und gewünschtem Ergebnis eingestellt werden. Der Maskenausrichter ist in der Lage, die Materialschichten auf dem Substrat durch berührungslose Maskenregistrierungstechniken genau auszurichten. Es ist mit einer automatisierten Embedded-Imaging-Einheit ausgestattet, die Echtzeit-Beobachtung und Feedback liefert. Diese Maschine bietet auch eine hohe Genauigkeit Ausrichtung während des gesamten Prozesses. Der Substratprozessor von SEMIX CSH 8121D ist eine vollautomatische Lösung, die mit dielektrischer Laserablation das Photolackmaterial auf den Wafer aufbringt. Der Prozessor ist zur masken- und musterbasierten Photoresistabscheidung fähig und kann auch zur Abgabe von UV-härtendem Photoresistor ausgebildet werden. Für den Batch- oder kontinuierlichen Betrieb können verschiedene Dispense-Formate verwendet werden. All diese Komponenten sind in ein automatisiertes Werkzeug integriert, das eine schnelle und kostengünstige Herstellung komplexer Halbleiterbauelemente ermöglicht. Das Asset ist flexibel, stabil und zuverlässig und wird durch eine Bibliothek von über 2000 verschiedenen Rezepten für verschiedene Prozesse unterstützt. Auf diese Weise können Halbleiterhersteller konsistent und schnell eine Vielzahl von Bauelementen erstellen. Insgesamt ist CSH 8121D ein vielseitiges und zuverlässiges Photolackmodell, das eine überlegene Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bietet. Es ist einfach zu bedienen und kann für fast jede Anwendung konfiguriert werden. Dadurch ist es eine ideale Wahl für Hersteller, die eine zuverlässige Photolackausrüstung suchen.
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