Gebraucht SEMIX / TOK TR 6132U #57578 zu verkaufen
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ID: 57578
Wafergröße: 4"
Spin On Glass (SOG) Coater, 4"
One coating station
(3) Hot plates
Dual senders & receivers
U-Turn configuration
Dry air: PS, 1/4" Female, 4 to 7kgs / cm², 250 Nl / min
Cooling water: 20 A Vp, 1kg / cm², 10 l / min
DI Water: 20 A Vp, 2kgs / cm², 15 l / min
Temperature control range : 40°C - 70°C
Nozzle: Flat-type (PVC MVP-9010), cone-type EX-424
Rinsing time: 100 - 300 Seconds
Constant temperature reservoir: 10l Maximum 40°C - 70°C
Power supply: 200 VAC, Single phase, 18 Amps.
SEMIX/TOK TR 6132U ist eine Photolackausrüstung, die von TOK, einem führenden Technologieunternehmen in der Halbleitermaterialindustrie, entwickelt wurde. Das System dient zur Herstellung von Photolithographiemasken und Halbleiterbauelementen. Das Gerät nutzt fortschrittliche Photolithographieverfahren, um Halbleitermaterialien präzise zu strukturieren. Es kommt mit einem integrierten fotografischen Simulator und mehreren Belichtungsparametern, die den Prozess der Erstellung komplizierter Muster auf dem Substrat vereinfachen. Darüber hinaus umfasst es ein zweistufiges Abbildungsverfahren, bestehend aus einer Vorbelichtung und einer Nachbelichtung. Die Vorbelichtung hilft, die Gleichmäßigkeit der Muster über das gesamte Substrat zu gewährleisten, während die Nachbelichtung hilft, die Muster zu verfeinern und gewünschte Abmessungen zu fixieren. Die Maschine verfügt über ein integriertes digitales Bildverarbeitungswerkzeug, mit dem die Benutzer verschiedene Parameter anpassen können, die den Musterdruckprozess beeinflussen. Diese Parameter umfassen belichtete Facettenorientierung, Mustergröße, Ausrichtungsgenauigkeit und Bilddefinition. Die Anlage wird auch mit einem automatisierten Substrat-Be-/Entlademechanismus und einem hochpräzisen Roboter-Positionierungsmodell geliefert, um einen genauen Musterdruckprozess zu gewährleisten. Die Benutzeroberfläche der Geräte ist recht benutzerfreundlich und ermöglicht es den Benutzern, die Parameter einfach anzupassen. Es umfasst auch ein Echtzeit-Überwachungssystem, so dass die Benutzer den Fortschritt des Musterdruckprozesses kontinuierlich überwachen können. Das Gerät verfügt über ein Softwareprogramm, mit dem der Benutzer den Musterdruckprozess optimieren und bearbeiten kann. Darüber hinaus ist TOK TR 6132U eine effiziente Maschine, die qualitativ hochwertige Muster mit hoher Erfolgsquote herstellen kann. Darüber hinaus ist es mit einem automatischen Reinigungswerkzeug ausgestattet, das unerwünschte Rückstände während des Druckvorgangs vom Substrat entfernt. Schließlich entspricht das Asset auch verschiedenen internationalen Standards wie IEC 60601, ISO 10605 und UL 60950. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell in einer Vielzahl von Branchen, einschließlich medizinischer, Luft- und Raumfahrt- und Kommunikationstechnologien, sicher eingesetzt werden kann.
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