Gebraucht SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096 zu verkaufen

SEMIX/TOK TR 6132UD ist eine Photoresistausrüstung, die eine präzise Strukturierung und Beschichtung von Dünnschichten auf verschiedenen Materialien, einschließlich Substraten für Halbleiter oder andere mikroelektronische Bauelemente, ermöglicht. Das System eignet sich für Anwendungen, bei denen eine Feinlinienbreitenauflösung erforderlich ist, wie Halbleiterbauelementverarbeitung, MEMS-Fertigung und EMI-Abschirmung. Das Gerät nutzt eine integrierte Maschine aus Lichtquelle, Optik, Bühnensteuerung und Photolackprozessen. Die LED-Lichtquelle, die ein gleichmäßiges, diffuses Licht über den vollen Waferschwad ausleuchtet, ist in der Lage, sowohl kurz- als auch langwellige Komponenten gleichzeitig zu erzeugen, wodurch eine breite Palette von Photoresists belichtet werden kann. Die hohen numerischen Objektive mit einer damit verbundenen Auflösung von +/- 5 Mikrometern bieten eine sehr hohe Auflösung von 10 Mikrometern oder weniger. Das Stufensteuerungswerkzeug überwacht die Position und Geschwindigkeit des Wafertisches und ermöglicht eine präzise und wiederholbare Positionierung von Wafern in jedem der Belichtungsschritte des Prozesses. Die Anlage ist auch temperaturgesteuert, um eine genaue Belichtung des Photolacks zu gewährleisten, wodurch eine genaue Strukturierung und eine gleichmäßige Filmdicke über den gesamten Wafer ermöglicht wird. Das Modell verwendet einen Präzisions-Wafer-Spin-Prozess mit einem Drehzahlbereich von 0-4000 U/min, der eine gleichmäßige Ausbreitung des Photolacks über den gesamten Wafer ermöglicht. Die resultierende Dünnschichtmusterqualität ist ausgezeichnet, mit überlegener Prozessfähigkeit zur Erkennung kleiner Muster. Schließlich ist das Gerät mit einer ausgeklügelten Software ausgestattet, die die Belichtungsparameter für jeden Prozessschritt überwacht und aufzeichnet und so die Verfolgung des Prozessverlaufs ermöglicht. Insgesamt bietet TOK TR 6132UD ein äußerst zuverlässiges System mit präzisen Musterfunktionen, das die Erstellung konsistenter und präziser Dünnschichtbeschichtungen auf einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Mit integrierter LED-Lichtquelle, hochauflösender Optik, Bühnensteuerung und Wafer-Spin ist das Gerät ausgestattet, um die hochwertigste Musterung und die beste Prozesskontrolle für anspruchsvolle Dünnschicht-Mikroelektronik-Anwendungen zu bieten.