Gebraucht SEMIX / TOK TR 8171UD #131515 zu verkaufen
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ID: 131515
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Spin on Glass deposition system, 8"
Parts system
(10) circuit boards
Part number: 900140062
ER 81078 V.1.01
(1/2) (2/2)
TAZMO
Options:
Temperature & humidity (coat unit)
Solvent system with remote cabinet
Exhaust, fume bake plates
Post Bake Station
3 light status pole
SECS II software
De-installed 2001
Currently de-installed
1999 vintage.
Die SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UD ist eine Hochleistungs-Photoresist-Ausrüstung für eine Vielzahl fortschrittlicher Lithographieaufgaben. Das System umfasst eine vollautomatische hochauflösende Bildaufnahmeeinheit und einen Belichtungsprozessor in voller Größe. Die fortschrittliche Photoresist-Maschine ist aufgrund ihres ausgeklügelten Bildbelichtungssteuerungswerkzeugs und ihrer Belichtungsverarbeitungsfunktionen in der Lage, eine Submikron-Auflösung zu erreichen. In Verbindung mit seiner automatisierten Steuerung und großen Informationskapazität kann SEMSIXTOK TR 8171UD eine überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Das SEMSIXSEMIX TR 8171UD kommt mit einem Mikrosteuermotorantrieb für Belichtungssysteme und einer Linse für die Bildgebung, so dass es eine breite Palette von Belichtungsgenauigkeiten im Bereich von 0,5 bis 10 µm unterstützt. Der Mikrostempelmotorantrieb ist exakt geschwindigkeits- und beschleunigungsregulierbar und eignet sich ideal für Lithografen, die hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit benötigen. Darüber hinaus bietet das Modell auch eine Auswahl an Abbildungsspalten, die dem Gerät Bildqualitätsanpassungswerkzeuge zur Verfügung stellen, um eine möglichst hohe Auflösung zu erreichen. Darüber hinaus bietet das System Kompatibilität mit vielen der am häufigsten verwendeten Photoresist-Typen, so dass es auf einer Vielzahl von Substraten verwendet werden kann, einschließlich Glas, Silizium und Siliziumoxid. Das SEMSIXTR 8171UD ist mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet, die das Benutzererlebnis vereinfacht und es Benutzern ermöglicht, einfach und schnell auf die Funktionen des Geräts zuzugreifen und diese zu steuern. Darüber hinaus verfügt die Maschine über mehrere Kalibrierfunktionen und einen internen Speicher, der Bild-, Film- und Substratdaten speichern kann, die eine Optimierung von Bildgebungs-, Belichtungs- und Verarbeitungsprozeduren ermöglichen. Letztlich ist das SEMSIXSEMIX/TOK TR 8171UD ein zuverlässiges und vielseitiges Photolackwerkzeug, das fortschrittliche Lithographielösungen mit überlegener Genauigkeit, Auflösung und Wiederholbarkeit liefert. Die Anlage ist hocheffizient und produktiv und kann dazu beitragen, die Markteinführungszeit und die mit der Halbleiterherstellung verbundenen Kosten zu reduzieren.
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