Gebraucht SEMIX / TOK TS7171D-H #9252318 zu verkaufen
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ID: 9252318
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1994
Coater / Developer system, 6"
1994 vintage.
SEMIX/TOK TS7171D-H Photoresist Equipment ist ein fortschrittliches Photoresist-System mit hohem Durchsatz, überlegenem Standard wiederholbarer Ergebnisse und insgesamt ausgezeichneter Leistung. Dieses Gerät eignet sich gut für Hardmaskenätzen, Nass- und Trockenentwicklung sowie für fortgeschrittene Verfahren wie Dickschichtabhebungen und fortschrittliche Lithographieanwendungen. Die Maschine verfügt über ein beeindruckendes Feature-Set, das zur Optimierung von Photolackprozessen und zur Maximierung des Durchsatzes beitragen soll. Herzstück des Werkzeugs ist sein leistungsstarker Scanner, der große Wafer problemlos bearbeiten kann. Die Anlage umfasst einen thermisch stabilisierenden Ofen, einen eingebauten Ventilator und ein fortschrittliches Luftfiltrationsmodell, das einen optimierten Luftstrom in alle Bereiche der Ausrüstung ermöglicht. Dies hilft, saubere, partikelfreie Ergebnisse zu erzielen und hohe Ausbeuten zu gewährleisten. TOK TS7171D-H Photoresist System verfügt auch über ein intuitives, benutzerfreundliches Touch-Interface-Bedienfeld. Zu den Merkmalen gehören die Kontrolle der Überlagerungstoleranz, Belichtungsinkremente, Scangeschwindigkeit, Temperaturtoleranzen, thermische Gleichmäßigkeit und mehr. Das Gerät verfügt zudem über eine patentierte Cross-Scan-Technologie, die die Scangeschwindigkeit deutlich erhöht und Fehlstellungen beseitigt. Das Touch-Bedienfeld ist sehr benutzerfreundlich und bietet Anwendern eine einfache Möglichkeit, den aktuellen Prozess zu überwachen und anzupassen. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, darunter ein zentralisiertes Verriegelungswerkzeug, Übertemperaturalarm, Überwachung des Status der Dunstabzugshaube, Videoüberwachung und Notabschaltungssysteme. Dies gewährleistet eine sichere Arbeitsumgebung für Betreiber sowie eine optimale Performance von SEMIX TS7171D-H PhotoresistAsset. TS7171D-H Photoresist-Modell ist ideal für Anwendungen, die hohen Durchsatz, wiederholbare Ergebnisse, optimale Prozesssteuerung und Optimierung sowie überlegene Sicherheitsstandards erfordern. Das Gerät ist auch mit einem fortschrittlichen Überwachungs- und Diagnosesystem ausgestattet, das helfen kann, potenzielle Probleme zu erkennen, bevor sie kritisch werden, was kostspielige Ausfallzeiten verhindert.
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