Gebraucht SICAM ETF / 500 #9069977 zu verkaufen
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ID: 9069977
Weinlese: 2009
Lab coating dryer line
Unwind station with tension control
(1) High efficiency single drum dryer
(2) Position let off device
Tandem 2-roll surface, take up 30" Wide
Control panel with Inlet temp
Oven temp
Outlet temp
440 V, 60 Hz, 3-Ph
2009 vintage.
SICAM ETF/500 ist eine leistungsfähige, kostengünstige Flüssigkeitstauchfotoresistausrüstung. Als eine der führenden Technologien für fortschrittliche integrierte Anwendungen bietet es hervorragende Linienbreiten und Funktionsdefinitionen weit unter den Spezifikationen für ein Mikron. ETF/500 ist mit drei Komponenten-Modulen ausgestattet; ein Entwickler, ein aktivierter Entwickler und ein Detackifier. Der Entwickler bietet optimale Ätzraten für das Ätzen durch Photolackschichten. Der aktivierte Entwickler liefert dann zusätzliche Ätzrate für das Ätzen durch Resist, das keinen Fotoaktivator enthält. Mit dem Detackifier werden dann die klebrigen Rückstände entfernt, die typischerweise nach der Entwicklung des Resists verbleiben. Das System wurde entwickelt, um Temperatur- und Feuchtigkeitsdrift zu beseitigen. Das Photolackverfahren besteht aus fünf Stufen; Beschichten, Backen, Belichten, Entwickeln und Trocknen. SICAM ETF/500 bietet optimale Resistprofil, Haftung und Profilkontrolle während des gesamten Prozesses. Das Produkt ermöglicht es dem Anwender, Substrate mit gemischter Technologie mit einem Dickenbereich bis zu 25 Mikrometer zu beschichten. ETF/500 bietet zudem eine extrem niedrige Restspannung, die höchste Genauigkeit in der Dimensin-Steuerung gewährleistet. Neben seiner hervorragenden Ätzleistung wird mit dem SICAM ETF/500 durch das sequentielle mehrstufige Verfahren eine hervorragende anisotrope Ätzung erreicht. Mit einer Ätzrate von bis zu 500 Mikron pro Minute bei 5 Volt ist das Gerät in der Lage, komplizierte Geometrien in sehr dünnen Substraten zu ätzen. Die Mehrfachanschlusskonstruktion der Maschine ermöglicht eine breite Palette von Blei- sowie Bleiprodukten. Die Belichtungsköpfe sind auch für die genaue Fokussierung und Platzierung der Spotgröße einstellbar. ETF/500 ist mit einem hochresistenten Lieferwerkzeug ausgestattet. Die in der Anlage verwendete Förderflüssigkeit ist sehr widerstandsfähig gegen Durchbruch und bietet ein sauberes Chemikalienliefermodell, um die Partikelentfernung zu erhöhen und eine ausgezeichnete Haftung zu gewährleisten. Die Ausrüstung ist auch entworfen, um Kontaminationen zu minimieren. Alle Komponenten sind mit Luftfiltern ausgestattet, die unerwünschte Partikel aus dem Kontakt mit dem Resist entfernen. SICAM ETF/500 ist zuverlässig und einfach zu bedienen. Es bietet hohe Zuverlässigkeit in allen Prozessen und kann Ausfallzeiten minimieren. Das System wird auch durch ein umfangreiches Zubehör unterstützt, um eine vollständige Integration in die Anwendung des Benutzers zu gewährleisten. ETF/500 ist ideal für kleine bis mittlere Serienanforderungen.
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