Gebraucht SOKUDO RF3 #293609630 zu verkaufen
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ID: 293609630
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2010
Coater / Developer system, 6"
2010 vintage.
SOKUDO RF3 ist eine hochmoderne Photolackausrüstung, die von SOKUDO Corporation für Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Photolack ist ein wesentliches Material für die Herstellung verschiedener Halbleiterbauelemente. Es ist eine Art Photopolymer, das eine physikalische Veränderung erfährt, wenn es bei bestimmten Wellenlängen Licht ausgesetzt wird. Damit kann sie als Maske verwendet werden, um bestimmte Bereiche einer Halbleiteroberfläche vor chemischem Ätzen und anderen Bearbeitungsschritten zu schützen. SOKUDO RF 3 Photoresist System ermöglicht die genaue und präzise Anwendung von Photolack auf Halbleiterscheiben Schaltungen mit Funktionen bis in den Submikronbereich zu schaffen. RF3 Einheit besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Fotolackiermaschine und einem Belichtungswerkzeug. Mit der Photolackschicht wird Photolack auf die Oberfläche des Wafers aufgebracht. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm verarbeiten und ermöglicht durch sein breites Spektrum an Dosier- und Sprühparametern eine präzise Anwendungskontrolle. Dies sorgt für minimalen Abfall und eine genaue Gleichmäßigkeit der Beschichtung des Wafers. Das Belichtungsmodell dient dazu, den mit Photoresist bedeckten Wafer mit Licht zu belichten. Es ist in der Lage, maximalen Durchsatz, mit leistungsstarken, automatisierten Funktionen, die die Belichtung von komplexen Mustermasken zu erleichtern. Es verfügt über X-Y-Positionierung und Winkeleinstellung, kombiniert mit LED- und Laserstrahlquellen, um dynamische Belichtungsoperationen zu ermöglichen. Diese Funktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Belichtung mit einer Bildauflösung von bis zu 10 nm. Die Kombination dieser beiden Hauptkomponenten von RF 3-Geräten ermöglicht die Herstellung von Submikronmerkmalen auf Halbleiterscheiben, die den hohen Anforderungen heutiger Gerätetechnologien entsprechen. Das System ist sehr zuverlässig, mit einer extrem niedrigen Ausfallrate und ausgezeichneter Wiederholbarkeit der Ergebnisse, so dass es eine ideale Wahl für alle hochpräzisen Geräteherstellungsanforderungen ist.
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