Gebraucht SOKUDO RF3 #79692 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 79692
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Track system / Coater / Developer, 12"
Three Block - Right Feed
DOM - January 2008
2 Tarc Coat
2 Resist Coat
5 Develop
4 Input Stations
3 - AHL
7 - CP
4 - HP
6 - P-RPH
2 - WCP
Connected to a Canon iZa
2008 vintage.
SOKUDO RF3 ist eine Photoresist-Ausrüstung, die hochpräzise Verarbeitung mit der Fähigkeit kombiniert, komplexe Formen und Muster zu schaffen. Sie wird in den Bereichen Halbleiterscheibenherstellung, Photomasken und LCD-Displays eingesetzt. Ein Photolack ist ein Material, das selektiv durch Licht entfernt wird. Mit diesem Material lassen sich auf einer Vielzahl von Substraten komplizierte Muster und Formen erzeugen. SOKUDO RF 3 verwendet eine tiefe UV-Härtung und berührungslose Belichtung des Photolacks. Es verfügt über einen hochpräzisen, automatisierten Belichtungsprozess, der für eine Reihe von Substraten wie Photomasken, LCD-Panels und andere Substrate wie Quarz oder Glas angepasst werden kann. Der automatische Belichtungsprozess ist dank seiner hohen Auflösung auf eine hohe Genauigkeit für den Musterprozess ausgelegt. RF3 profitiert auch von einer Vakuumatmosphäre und einer doppelseitigen Photomaske. Die Vakuumatmosphäre hilft, Staub und andere Verunreinigungen zu reduzieren, während die doppelseitige Photomaske dafür sorgt, dass das Photolackmuster auf beiden Seiten des Substrats erhalten bleibt. Darüber hinaus kann das System auch verwendet werden, um das Photolackmuster nach Bedarf leicht zu modifizieren und anzupassen. In Bezug auf Genauigkeit und Geschwindigkeit ist RF 3 unerreicht, mit weit weniger Ausfallraten als andere Systeme. Zudem bietet es dank seiner hochmodernen mehrachsigen Kameraausrichteinheit eine hohe Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit bei jedem Produktionsablauf. SOKUDO RF3 profitiert auch von einer Reihe von Funktionen, die die Zuverlässigkeit erhöhen und Ausfallzeiten reduzieren sollen, einschließlich fortschrittlicher Restflächensteuerung, automatischer Prozessüberwachung und einer integrierten Maskenprüfmaschine. Dies macht es ideal für hochverfügbare Prozesse, wie sie für die LCD-Herstellung benötigt werden. SOKUDO RF 3 wurde entworfen, um die Bedürfnisse einer breiten Palette von Kunden zu erfüllen, vom kleinen Volumen Prototyping bis zur großen Produktion. Das Tool bietet außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit und ist in der Lage, die anspruchsvollsten Anforderungen zu erfüllen, von hohem Durchsatz und Prototypen mit geringem Volumen bis hin zu hoher Genauigkeit und Komplexitätsmusterung.
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