Gebraucht SOLITEC 5100 #9207415 zu verkaufen

SOLITEC 5100 ist eine Präzisions-Resist-Beschichtungsanlage für die Photoresist-Verarbeitung. Es ist entworfen, um überlegene Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit in Dünnfilm-Photoresist-Beschichtung und -Belichtung zur Verfügung zu stellen, so dass es ideal für die Herstellung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen ist. Das robuste System verfügt über ein integriertes Filterrad, das präzise Dünnschichtbeschichtungen ermöglicht. Das Filterrad ermöglicht eine präzise kontrollierte Flüssigkeitszufuhr und -dispersion, was zu einer überlegenen Foliengleichmäßigkeit führt. Zusätzlich hilft das Filterrad, Lösungsmittelentlüftungen während der Dispergierung zu minimieren, was das Substrat schützt. Zudem bietet das Gerät Automatisierung für verbesserte Prozesswiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Eine geschlossene Maschine passt automatisch die peristaltische Pumpendrehzahl, den Filterradabgabewinkel und den Merkmalsspaltabstand an. Dies trägt dazu bei, dass jede Beschichtung von gleichbleibender Qualität ist. 5100 ist kompatibel mit einer Vielzahl von gängigen lithographischen Materialien, einschließlich Materialien wie Entwickler- und Stripperlösungen, sowie Spin-on und Spray-on-Photoresist-Beschichtungen. Das Werkzeug unterstützt mehrere Beschichtungsdruckniveaus, um unterschiedlichen Viskositätsniveaus oder Materialanforderungen gerecht zu werden. SOLITEC 5100 ist mit automatisierter Scanbelichtungstechnologie ausgestattet, die hochwertige Belichtungsprofile und klare Bilder ermöglicht. Das Asset bietet eine kontrastreiche, hochauflösende Filmbildwiedergabe auch bei Mikrometer-Genauigkeit. Darüber hinaus gewährleistet die Leistungsoptimierung eine präzise Gleichmäßigkeit in der Dünnschicht-Photoresist-Beschichtung und -Belichtung. Das Modell verfügt über eine integrierte Temperaturregelung, um eine präzise Temperaturregelung während des gesamten Verarbeitungszyklus zu gewährleisten. Zusätzlich steht ein Umweltgehäuse zur Verfügung, um die Sicherheit zu verbessern, und das System kann mit einem Kühlmantel ausgestattet werden, um das Substrat vor Wärmestrahlung zu schützen. Zusammenfassend ist 5100 eine fortschrittliche Resistbeschichtungseinheit, die für die präzise Dünnschicht-Photoresist-Verarbeitung entwickelt wurde. Sein robustes Design ermöglicht eine präzise Flüssigkeitszufuhr, eine gleichmäßige Beschichtung, eine kontrollierte Temperatur und konsistente Belichtungen. Dies macht die Maschine ideal für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente.