Gebraucht SPAMI Ace II #293660330 zu verkaufen

SPAMI Ace II ist eine komplette Photolackausrüstung, die von SPAMI Co. für den Einsatz in industriellen Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Das System verfügt über ein Multi-Scanning-Laserbelichtungsmodul, eine Spülstation und eine automatische Reinigungseinheit, um einen hohen Durchsatz und eine hervorragende Schrittabdeckung zu gewährleisten. ACE II Maschine arbeitet mit einem Laserbelichtungsmodul, um Patente auf eine Vielzahl von Halbleiterscheibengrößen zu übertragen. Das Laserbelichtungsmodul besteht aus einem Diodenlaserarray, einer synchronen Abtastung und einer präzisen Positionierungssteuerung. Das Laserbelichtungsmodul ermöglicht es dem Werkzeug, hochkomplexe und detaillierte Muster mit extrem genauen Merkmalsgrößen und Linienbreiten zu drucken. Die Spülstation dient zur Entfernung von Photoresistrückständen nach der Belichtung. Es enthält eine Reihe von abnehmbaren Leiterplatten für die Plug-and-Play-Integration in SPAMI Ace II Asset und verfügt über einen Niederdruck-Spülspüldruck (RRR-P) -Flussdetektor, der verhindert, dass sich Photoresistreste aufbauen und den Bildgebungsprozess stören. Das Auto-Clean-Modell dient der Optimierung der Prozesswerkzeugreinigung. Es umfasst eine bewegliche Bühne zur präzisen Substratpositionierung und verfügt über einen eingebauten Reinigungsroboter mit einem zweiachsigen Servoantrieb für erhöhte Reinigungsgenauigkeit. Die automatische Reinigung reduziert die Ausfallzeiten von Prozesswerkzeugen, verbessert den Durchsatz und optimiert gleichzeitig die Betriebskosten und die Reinheit der Photolackierung. Ace II Photoresist-System unterstützt auch erweiterte Funktionen wie Musterspiegelung, ein doppelt beleuchtetes Wafer-Design für die Mehrschichtverarbeitung und eine Reihe von Wafer-Sensorköpfen für empfindliche Dicken- und Fokusmessung. Der modulare Aufbau vereinfacht Installation, Wartung und Upgrades und bietet gleichzeitig hervorragende Leistung und Flexibilität bei niedrigen Betriebskosten.