Gebraucht SSC BPE-2708-SP #9220820 zu verkaufen
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ID: 9220820
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Gold plating machines, 8"
Plating mechanism: Fountain, face-down
Manual wafer load and unload
Solution: Non-cyanide, Au solution
Solution capacity: (14) Cups, 8"
Temperature control: Direct heating
Mechanism: PID Control
Temperature control range: Room temperature to ~70°C
Flow rate: Auto control by flow sensor, cup / Pump control mechanism
Plating tank: Laminate
Upper lid: PVC
Cup holder: HT-PVC and PPS, 8"
Upper lid arms: SUS Coated with PTFE
Upper lid open / Close: Air cylinder
Fountain pump: Polypropylene
Valve: PTFE AV valve, HT-PVC, PVC and PFA
Piping of Au solution: HT-PVC, Polypropylene and PFA
Piping of DIW and drain: HT-PVC, PVC, and PFA
Piping of exhaust: PVC
Plating unit: PVC
Cup location: (7) Lines x (2) cups
Fountain pumps: (14) MD-100FYK With inverter control: 8~50 L/min
With cup / Pump flow rate
Circulation pumps: (2) MD-100FYK With inverter control
With (2) circulation piping lines
Fountain filtration: (14) Sets of PP (housing and cartridge)
Circulation filtration: (2) sets of PP (housing and cartridge)
Solution level control: N2 level sensor for each solution tank
With (2) upper, lower, fixed, additive
Sensors: Temperature, leakage, flow rate, area
(4) Heaters, 3 kW
Power supply: Cabinet (Caster and adjuster)
Fixed electrical current
2-Channel switch: (2) 8~3000 mA (8 ~300 mA)
Precision: ±0.5 % by 300 mA
Control: Sequence control
Touch panel and PLC
Data recorded PC
(30) Programmable numbers
(90) Recipes per programmed number
Count current mod (mA / Hour)
Bump height uniformity: ≤ 5 % (10-15) points / Wafer
Bump height uniformity: ≤ 2 um - ≤3 um, 8" (80-120 points)
Flow rate: 35 L/min, no leakage from backside
Edge contact area / Cathode
No plating cup
2006 vintage.
SSC BPE-2708-SP Photoresist ist ein fortschrittliches automatisiertes, präzises Laserbelichtungssystem, das den Anforderungen der sich rasch entwickelnden Fertigungstechnologien gerecht wird. Es eignet sich ideal für fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen, die eine hohe Präzision und eine hohe Detailauflösung erfordern. Im Herzen ist das Gerät mit einer SSC-proprietären Festkörperlasermaschine ausgestattet. Dieses Laserwerkzeug erzeugt Hochleistungsimpulse mit einer Vielzahl einstellbarer Frequenz, Dauer und Energieniveaus, die Photolackmaterial präzise und präzise belichten können, ohne Schäden zu verursachen. Die Anlage umfasst außerdem ein Paar hochauflösende Kamerasysteme, die den Laserbelichtungsprozess überwachen und steuern. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Durchgang des Lasers genau dem vorgegebenen Muster folgt, was zu einer gleichmäßigen Photoresistbelichtung führt. Darüber hinaus umfasst das Modell eine automatisierte Materialhandhabung Ausrüstungsfaktoren. Auf diese Weise kann der Bediener schnell und einfach zwei Standardmasken pro Photolithographieauftrag laden und so den Durchsatz maximieren. Das Materialhandhabungssystem sorgt dafür, dass die Masken präzise positioniert werden können, bevor der Laser gebrannt wird, was zu hoher Präzision und Wiederholbarkeit führt. Das Gerät verfügt auch über eine leistungsstarke und leistungsfähige Archivierungsmaschine. Auf diese Weise kann der Bediener Photolithographie-Einstellungen und -Parameter für einen einfachen Rückruf speichern und den Durchsatz weiter maximieren. Die Steuerung erfolgt über eine intuitive, einfach zu bedienende Oberfläche. Dieses Display enthält Echtzeit-Feedback zum Fortschritt der Photolithographie und bietet eine visuelle Zusammenfassung der Ergebnisse jedes Laserbelichtungsschritts. Insgesamt ist BPE-2708-SP Photoresist Asset eine ideale Lösung für fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen, die hohe Präzision und eine hohe Detailauflösung erfordern. Sein robuster Funktionssatz und die automatisierte Materialhandhabung ermöglichen einen hohen Durchsatz und sorgen für wiederholbare und konsistente Ergebnisse bei jedem Auftrag.
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