Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Marangoni #293595304 zu verkaufen

STEAG/MATTSON/AST Marangoni Photoresist Equipment ist ein hochentwickeltes Photolithographieverfahren zur Herstellung elektronischer Komponenten und Geräte. Es verwendet eine Kombination aus mehreren Verfahren - einschließlich Lichtbelichtung und reaktive Diffusion - zu belichten und zu entwickeln ein Photolack bedeckten Substrat, die dann verwendet wird, um die gewünschte Struktur oder Merkmal zu mustern. Das AST Marangoni Photoresist System besteht aus zwei separaten Reaktoren, die als WaferProcessor und SoftBake Ofen bezeichnet werden. Der WaferProcessor ist eine computergesteuerte Maschine, die die Photolackmoleküle an der Oberfläche des Substrats ausrichtet, das gewünschte Belichtungsmuster erzeugt und die Photolackschicht entwickelt. Der Belichtungs- und Entwicklungsprozeß wird durchgeführt, indem das Substrat einem bestimmten Lichtbelichtungs- und reaktiven Diffusionsmuster ausgesetzt wird. Der SoftBake Ofen wird dann verwendet, um den Musterungsprozess abzuschließen. Dabei wird das Substrat in einem Ofen auf eine vorgegebene Temperatur erhitzt, auf eine vorgegebene Belichtungszeit eingestellt und dann ein geregelter thermischer Gradient zwischen verschiedenen Teilen des Substrats erzeugt. Dieser thermische Gradient ermöglicht eine selektive Bildung des gewünschten Musters ohne Modifikation der Photolackschicht. Der letzte Schritt der STEAG Marangoni Photoresist Unit ist die Nachbackanlage, die mit einem Hochtemperaturofen das Photoresist-Material aktiviert. Durch diesen Aktivierungsvorgang wird sichergestellt, dass das Photolackmuster während des Ätzens und anderer Fertigungsprozesse intakt bleibt und das gewünschte Muster genau repliziert wird. Abschließend ist Marangoni Photoresist Machine eine fortschrittliche, zuverlässige Photolithographie-Methode, die zur Herstellung elektronischer Komponenten und Geräte verwendet wird. Dieser Ansatz nutzt eine Kombination aus Exposition, reaktiver Diffusion und Nachbackprozessen, um genaue Muster und Merkmale zu erhalten. Die relativ geringe Größe und geringe Rüstkosten machen dieses Werkzeug für eine Vielzahl von Serienprozessen geeignet.