Gebraucht STEAG / MATTSON / AST Marangoni #9267094 zu verkaufen

ID: 9267094
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Dryer, 8" 1995 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Marangoni ist eine Photoresist-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um präzises Ätzen und Mustern auf einer Vielzahl von Oberflächen zu ermöglichen. Es verwendet eine ausgeklügelte Kombination aus ultravioletter (UV) Lichtbestrahlung und thermischer Nachbeaufschlagung, um gezielte Bereiche des Substrats genau aufzulösen. Das Photolackmaterial wird als Flüssigkeit auf den Zielbereich aufgebracht. Bei UV-Licht verwandeln sich die belichteten Teile der Flüssigkeit in einen Feststoff. Nach der Bestrahlung wird die Probe mit einer maßgeschneiderten AST Marangoni Application System Thermal Unit (MASTU) erhitzt. Durch dieses Verfahren löst sich der umgesetzte Photolack kontrolliert auf. Um sicherzustellen, dass das unbestrahlte Material nicht beeinflusst wird, muss die Wärme durch die Verwendung einer fortschrittlichen thermischen Steuereinheit genau geregelt werden. Das Verfahren ermöglicht die Mikrofertigung von hohen und dünnen Strukturen, genau dort, wo es vorgesehen ist, und mit hoher vertikaler Treue. Es ermöglicht auch die Bildung feiner Winkel und Mikrokanäle sowie die präzise Steuerung der Resistdicke. STEAG Marangoni eignet sich besonders für Dünnschichtgerätestrukturen wie MEMS (MicroElectroMechanical Systems) und NEMS (NanoElectroMechanical Systems). Sie ist auch in anderen Bereichen wie Medizinprodukte, Energieernte und Sensoren sehr erfolgreich. Marangoni eignet sich sowohl für große Fläche und kleine Fläche Photoresist Musterung. Neben einer äußerst kostengünstigen Möglichkeit, eine Vielzahl von Materialien genau zu mustern, ist es auch eine umweltfreundliche Lösung und erfordert keine gefährlichen Chemikalien. Abschließend ist MATTSON Marangoni eine zuverlässige Maschine zur kostengünstigen und sicheren Präzisionsätzung und Strukturierung. Es kann für eine breite Palette von Anwendungen verwendet werden, und seine hohe Genauigkeit und ungiftige Technologie helfen, innovativen Geräteherstellung einfacher und effizienter zu machen.
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